冷阱及冷阱的控制方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103223260A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103223260103223260A(43)申请公布日2013.07.31(21)申请号201310032854.3(22)申请日2013.01.28(30)优先权数据2012-0188352012.01.31JP(71)申请人住友重机械工业株式会社地址日本东京都(72)发明人田中秀和(74)专利代理机构广州三环专利代理有限公司44202代理人温旭郝传鑫(51)Int.Cl.B01D8/00(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书6页说明书6页附图5页附图5页(54)发明名称冷阱及冷阱的控制方法(57)摘要本发明提供一种冷阱及冷阱的控制方法，其目的在于能够实现冷阱的连续运行。本发明的冷阱（10）具备2个能够独立控制的冷却单元（20，22）。冷阱（10）配置于将真空腔室（16）连接在涡轮分子泵（12）的排气流路（14）。第1冷却单元（20）包含：露出于排气流路（14）而配置的第1板单元（26）；及热连接于第1板单元（26）并对冷却第1板单元（26）进行冷却的第1制冷机（24）。第2冷却单元（22）包含：露出于排气流路（14）而配置的第2板单元（30）；及热连接于第2板单元（30）并对第2板单元（30）进行冷却的第2制冷机（28）。第1板单元（26）远离第2板单元（30）而配置。CN103223260ACN10326ACN103223260A权利要求书1/1页1.一种冷阱，其具备能够独立控制的多个冷却单元，且配置于将排气对象容积与真空泵连接的排气流路内，其特征在于，各冷却单元包括：板单元，其露出配置于所述排气流路；及制冷机，其与所述板单元热连接并对所述板单元进行冷却，各冷却单元的板单元与其他冷却单元的板单元远离配置。2.如权利要求1所述的冷阱，其特征在于，所述冷阱还具备控制部，所述控制部将各冷却单元的控制模式在通常运行模式与再生模式之间进行切换，其中，通常运行模式使从所述排气对象容积通过所述排气流路而来到的气体冻结并捕捉在所述板单元的表面，再生模式使冻结在所述板单元的表面上的气体气化并通过所述真空泵向外部排出，当所述多个冷却单元中的一部分冷却单元成为所述通常运行模式时，所述控制部将所述多个冷却单元中的另一部分冷却单元设为所述再生模式。3.如权利要求1或2所述的冷阱，其特征在于，所述冷阱还具备罩部，且该罩部热连接于相邻的2个板单元中的任意一个，并且至少局部性地覆盖上述2个板单元的间隙。4.一种冷阱的控制方法，其是权利要求1所述的冷阱的控制方法，该冷阱的控制方法的特征在于，包括：在通常运行模式与再生模式之间切换各冷却单元的控制模式的步骤，其中，通常运行模式使从所述排气对象容积通过所述排气流路而来到的气体冻结并捕捉在所述板单元的表面，再生模式使冻结在所述板单元的表面的气体气化并通过所述真空泵向外部排出；及当所述多个冷却单元中的一部分冷却单元成为所述通常运行模式时，将所述多个冷却单元中的另一部分冷却单元设为所述再生模式的步骤。2CN103223260A说明书1/6页冷阱及冷阱的控制方法技术领域[0001]本发明涉及一种冷阱及冷阱的控制方法。背景技术[0002]作为通过冷凝或吸附而将气体分子捕捉在冷却至超低温的低温板上来提高真空度的装置，已知有低温泵或冷阱（例如参考专利文献1）。冷阱通常设置于涡轮分子泵等真空泵的前段，与真空泵协同进行排气动作。在冷阱中，通常附带设置有冷却用流体的供给系统或超低温制冷机等冷却装置，低温板的表面被冷却至超低温。[0003]专利文献1：日本特开2009-262083号公报[0004]冷阱中，通常捕捉在低温板表面的水分等的量越多排气能力越降低，所以需要定期进行向外部排出被捕捉的水分等的再生处理。该再生处理中，由于水分等从低温板再气化，所以通常用阀等从排气对象切断开冷阱，或者停止包括冷阱的整个装置的运行。当为前者时向真空度的不良影响令人担忧，为后者时存在被安装冷阱的装置的利用率降低的可能性。发明内容[0005]本发明是鉴于这种情况而完成的，其目的在于提供一种能够连续运行的冷阱及冷阱的控制方法。[0006]本发明的一种形态涉及冷阱。该冷阱为具备能够独立控制的多个冷却单元，且配置于将排气对象容积与真空泵连接的排气流路内，其中各冷却单元包含：露出配置于排气流路的板单元；及与板单元热连接并对板单元进行冷却的制冷机。各冷却单元的板单元远离其他冷却单元的板单元而配置。[0007]本发明的其他形态为控制方法。该方法为具备多个能够独立控制的冷却单元且配置于将排气对象容积连接于真空泵的排气流路的冷阱的控制方法，其中各冷却单元包含：露出于排气流路而配置的板单元；及热连接于板单元并对板单元进行冷却制