一种用于搬运高精度工件的运输推车.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103287466A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103287466103287466A(43)申请公布日2013.09.11(21)申请号201210041165.4(22)申请日2012.02.22(71)申请人上海微电子装备有限公司地址201203上海市浦东新区张东路1525号(72)发明人李维佳(74)专利代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237代理人屈蘅李时云(51)Int.Cl.B62B3/00(2006.01)B62B3/02(2006.01)B62B3/04(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书5页说明书5页附图5页附图5页(54)发明名称一种用于搬运高精度工件的运输推车(57)摘要本发明提出一种用于搬运高精度工件的运输推车，包括：底座；脚轮，安装在底座底部；固定支撑脚，安装在底座上，包括锁紧机构，用于记录支撑脚的高度；升降锁紧机构，安装在底座顶部；托板，连接设置在升降锁紧机构上方，由其调整托板高度；气囊支座，固定连接在托板侧面；气浮支座，固定连接于被运输工件上；以及夹紧工装，设置于底座上，使托板的侧面与被运输工件的安装面侧面贴合；气囊支座上设有垂直安装的气囊，其安装于被运输工件的侧面，一端固定在气囊支座上，另一端安装有滚轮机构；气浮支座上设有气浮块。本发明提出的运输推车，能安全可靠、方便快速的将大型精密部件装卸并准确安放到指定的安装位置，防止可能产生的磕碰及震动。CN103287466ACN10328746ACN103287466A权利要求书1/1页1.一种用于搬运高精度工件的运输推车，其特征在于，包括：底座；脚轮，安装在所述底座底部；固定支撑脚，安装在所述底座上，包括锁紧机构，用于记录所述支撑脚的高度；升降锁紧机构，安装在所述底座顶部；托板，与所述升降锁紧机构连接，并设置在所述升降锁紧机构的上方，由所述升降锁紧机构调整所述托板的高度；气囊支座，连接在所述托板侧面，并固定；气浮支座，固定连接于被运输工件上；以及夹紧工装，设置于所述底座上，使所述托板的侧面与所述被运输工件的安装面侧面贴合；所述气囊支座上设有垂直安装的气囊，所述垂直安装的气囊安装于所述被运输工件的侧面，一端固定在所述气囊支座上，另一端安装有滚轮机构；所述气浮支座上设有气浮块。2.根据权利要求1所述的用于搬运高精度工件的运输推车，其特征在于，所述夹紧工装包括：连接在所述底座上的安装底座、一端与所述安装底座活动连接的连杆、中部与所述连杆另一端活动连接的挂杆、中部与所述挂杆尾端的活动连接手柄、连接于所述挂杆前端的调整螺杆以及工装固定块；所述手柄的前端与所述安装底座活动连接；所述工装固定块安装于所述安装面所在的框架上；所述调整螺杆与工装固定块配合。3.根据权利要求2所述的用于搬运高精度工件的运输推车，其特征在于，还包括支撑底板，固定连接在所述托板底部；所述支撑底板上安装有气囊，支撑所述被运输工件底部，所述气囊高出所述托板。4.根据权利要求2所述的用于搬运高精度工件的运输推车，其特征在于，还包括限位机构，设置于所述底座上，由限位座、限位螺钉和限位块块组成，所述限位机构位于所述夹紧工装的下方，调整使所述托板的侧面与所述被运输工件的安装面侧面紧密贴合。5.根据权利要求1所述的用于搬运高精度工件的运输推车，其特征在于，所述滚轮机构包括：滚轮座、插入所述滚轮座的滚轮轴、套设在所述滚轮轴上的轴承、包裹在所述轴套外的滚轮、一端抵设于所述轴承的轴套，设置于所述轴套另一端的锁紧螺母；旋紧所述锁紧螺母轴向锁定所述滚轮轴。2CN103287466A说明书1/5页一种用于搬运高精度工件的运输推车技术领域[0001]本发明涉及光刻机设备领域，且特别涉及一种用于搬运高精度工件的运输推车。背景技术[0002]在光刻机整机集成中，工件台分系统与框架分系统分别集成，工件台分系统集成完毕后，将会整体搬运并安装到整机框架分系统内。由于工件台的质量较大，且内部安装有大量精密、易损零部件，工件台如何安全且准确的搬运到指定安装位置，一直是整机集成过程中比较难解决的问题。为了将工件台安全且准确的搬运到指定安装位置，需要推车满足如下要求：[0003]1.搬运推车的升降高度可调，推车必须牢固，载重量大；[0004]2.搬运推车能有效防止工件台装载到推车过程中的碰撞。[0005]3.搬运推车能隔离推车在移动过程中产生的震动，且有自锁功能。[0006]4.搬运推车能快速与框架系统对接，方便、稳定、可靠的将工件台移动至指定安装位置。以便后续安装工作。[0007]目前公知的用于运送工件的推车在运输过程中的防震效果主要是通过脚轮的橡胶或额外的橡胶垫来实现的。其效果对于高精度零件，特别是含有光学零部件等易损的