一种硅棒几何尺寸测量仪.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103292702A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103292702103292702A(43)申请公布日2013.09.11(21)申请号201310255528.9(22)申请日2013.06.25(71)申请人湖北工业大学地址430068湖北省武汉市武昌区南湖李家墩1村1号(72)发明人汪威汤亮李晓敏叶方平袁雷华(74)专利代理机构武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙)42222代理人鲁力(51)Int.Cl.G01B11/00(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书5页说明书5页附图5页附图5页(54)发明名称一种硅棒几何尺寸测量仪(57)摘要本发明涉及一种硅棒几何尺寸测量仪，包括固定框架、固定在固定框架上的标定块校准装置、竖装光耦、硅棒保护板升降装置、检测平台升降装置、工作台调整装置、工控机、开关盒、空气开关、显示装置、硅棒保护板组件、包含测量相机的检测平台组件以及放置硅棒的工作台组件；所述硅棒保护板组件和检测平台组件均能在各自升降装置的驱动下在重力方向作往复运动；硅棒能在工作台调整装置驱动下作横向、纵向以及周向旋转的运动。因此，本发明具有如下优点：1.利用机器视觉的方法对硅棒外形尺寸以及表面缺陷一次性测量，精度高，效率快，重复性好，对硅棒表面无任何潜在损伤；2.通过滑轮组的设计，实现用较小额定功率的电机驱动平台的移动，更加经济。CN103292702ACN103297ACN103292702A权利要求书1/2页1.一种硅棒几何尺寸测量仪，其特征在于，包括固定框架（1）；固定在固定框架（1）上的标定块校准装置（2）、竖装光耦（3）、硅棒保护板升降装置、检测平台升降装置、工作台调整装置（4）、用于控制整个硅棒几何尺寸测量仪的工控机（5）、开关盒（6）、与工控机（5）电连接的空气开关（7）、与工控机（5）连接的显示装置（8）、硅棒保护板组件、检测平台组件以及用于放置被测硅棒的工作台组件；所述硅棒保护板组件由硅棒保护板升降装置驱动并能在竖直方向作往复运动；所述检测平台组件由检测平台升降装置驱动并能在竖直方向作往复运动；硅棒能由工作台组件驱动下作横向、纵向以及周向旋转的运动。2.根据权利要求1所述的一种硅棒几何尺寸测量仪，其特征在于，所述检测平台组件包括一个检测平台（9）以及设置在检测平台（9）上的至少八台周向设置对硅棒（10）的八个表面进行测量的检测相机组件；所述检测平台升降装置包括设置在检测平台（9）上的两个检测平台滑轮（11）、固定在检测平台（9）的升降丝杆螺母（12）和与升降丝杆螺母（12）配合的升降丝杆（13）、与两个检测平台滑轮（11）配合的两个滑轮组、检测平台配重块（14）、以及与检测平台（9）固定在一起的塑料拖链（15）；每个滑轮组包括固定在固定支架（1）的一个三滑轮和一个单滑轮（55）、以及固定在检测平台配重块（14）上的检测平台配重块滑轮（16）；所述检测平台滑轮（11）和对应的滑轮组由一根钢丝缆绳串连；所述升降丝杆（13）由电机驱动。3.根据权利要求2所述的一种硅棒几何尺寸测量仪，其特征在于，所述工作台组件包括工作台立杆（17）、用于放置被检硅棒并且立于工作台立杆（17）上的硅棒放置台（18）、固定在工作台立杆（17）上的纵向调整平台（19）、设置在纵向调整平台（19）下方并与纵向调整平台（19）固定的横向调整平台（20）、设置在横向调整平台（20）下方并与横向调整平台（20）固定的旋转调整平台（21）；旋转调整平台（21）通过工作台支撑架（22）固定在固定框架（1）上。4.根据权利要求3所述的一种硅棒几何尺寸测量仪，其特征在于，所述硅棒保护板组件包括一个硅棒保护板（23）、设置在硅棒保护板（23）上的导轨以及与导轨配合能够前后移动的硅棒移动平台（24），所述硅棒保护板升降装置包括第一固定框架滑轮（25）、保护板配重滑轮（26）、第一保护板滑轮（27）、第二保护板滑轮（28）、第二固定框架滑轮（29）、第三固定框架滑轮（30）、第三保护板滑轮（31）、第四保护板滑轮（32）、第四固定框架滑轮（33）以及固定框架单滑轮（53）；所述固定框架单滑轮（53）、第一固定框架滑轮（25）、第二固定框架滑轮（29）、第三固定框架滑轮（30）以及第四固定框架滑轮（33）均固定在固定框架上，所述第一保护板滑轮（27）、第二保护板滑轮（28）、第三保护板滑轮（31）、第四保护板滑轮（32）均固定在保护板上；所述保护板配重滑轮（26）固定在保护板配重块（51）上；一条钢丝绳经第一固定框架滑轮（25）、保护板配重滑轮（26）、第一保护板滑轮（27）、第二保护板滑轮（28）、第二固定框架滑轮（29）、第三固定框架滑轮（30）、第三保护