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模块四进给伺服系统单元一伺服电机及其调速单元一步进电机及其调速单元一步进电机及其调速二、直流伺服电机及其调速系统二、直流伺服电机及其调速系统二、直流伺服电机及其调速系统二、直流伺服电机及其调速系统单元一步进电机及其调速单元二位置检测装置单元二位置检测装置单元二位置检测装置单元二位置检测装置单元二位置检测装置单元二位置检测装置单元二位置检测装置单元二位置检测装置单元三典型进给伺服系统单元三典型进给伺服系统单元三典型进给伺服系统单元三典型进给伺服系统单元四伺服系统的特性对加工精度的影响单元四伺服系统的特性对加工精度的影响单元四伺服系统的特性对加工精度的影响单元四伺服系统的特性对加工精度的影响单元四伺服系统的特性对加工精度的影响