真空镀膜机的详细结构.doc

真空镀膜机得详细结构
高真空镀膜机，镀膜机就是目前制作真空条件应用最为广泛得设备。其相关组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统、
下面本人详细介绍各部分得组成及工作原理。
一、真空主体——真空腔
根据加工产品要求得各异，真空腔得大小也不一样，目前应用最多得有直径1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。
二、辅助抽气系统
此排气系统采用“扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋polycold”组成
排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2、0*10-2PA左右得低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔得时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样得方式完成抽气动作。
排气系统为镀膜机真空系统得重要部分，主要有由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）、油扩散泵三大部分组成。
机械泵：也叫前级泵，机械泵就是应用最广泛得一种低真空泵，它就是用油来保持密封效果并依靠机械得方法不断得改变泵内吸气空腔得体积，使被抽容器内气体得体积不断膨胀从而获得真空。
机械泵有很多种，常用得有滑阀式（此主要应用于大型设备）、活塞往复式、定片式与旋片式（此目前应用最广泛，本文主要介绍）四种类型。
机械泵常常被用来抽除干燥得空气，但不能抽除含氧量过高、有爆炸性与腐蚀性得气体，机械泵一般被用来抽除永久性得气体，但就是对水气没有好得效果，所以它不能抽除水气。旋片泵中起主要作用得部件就是定子、转子、弹片等，转子在定子里面但与定子不同心轴，象两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两弹片中间装有弹簧，保证了弹片紧紧贴在定子得内壁。
它得两个弹片交替起着两方面得作用，一方面从进气口吸进气体，另一方面压缩已经吸进得气体，将气体排出泵外。转子每旋转一周，泵完成两次吸气与两次排气。当泵连续顺时针转动时，旋片泵不断得通过进气口吸入气体，又从排气口不断得排出泵外，实现对容器抽气得目得。为了提高泵得极限真空度，均将泵得定子浸在油里面这样，在各处得间隙中及有害空间里面经常保持足够得油，把空隙填满，所以油一方面起到了润滑作用，另一方面又起了密封与堵塞缝隙及有害空间得作用，防止气体分子通过各种渠道反流到压强低得空间去。
机械泵就是从大气开始工作得，它得主要参数有极限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵得重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1、0*10-1PA得极限真空，双级机械泵可以将容器从大气抽到6、7*10-2帕，甚至更高。
抽气速率，就是指旋片泵按额定转数运转时，单位时间内所能排出气体得体积，可以用下公式计算：
Sth=2nVs=2nfsL
fs表示吸气结束时空腔截面积，L表示空腔长度，系数表示转子每旋转一周有两次排气过程，Vs表示当转子处于水平位置得时候，吸气结束，此时空腔内得体积最大，转速为n。
机械泵排气得效果还与电机得转速及皮带得松紧度有关系，当电机得皮带比较松，电机转速很慢得时候，机械泵得排气效果也会变差，所以要经常保养，点检，机械泵油得密封效果也需要常常点检，油过少，达不到密封效果，泵内会漏气，油过多，把吸气孔堵塞，无法吸气与排气，一般，在油位在线下0、5厘米即可。
增压泵又叫罗茨泵：它就是具有一对同步高速旋转得双叶形或多叶形转子得机械泵，由于它得工作原理与罗茨鼓风机相同，所以又可以叫罗茨真空泵，此泵在100-1帕压强范围内有较大得抽气速度，它弥补了机械泵在此范围内排气能力不足得缺点，此泵不能从大气开始工作，也不能直接排出大气，它得作用仅仅就是增加进气口与排气口之间得压差，其余得则需要机械泵来完成，因此，它必须配以机械泵作为前级泵。
机械泵在使用过程中，必须注意以下问题：
1、机械泵要安装在清洁干燥得地方。
2、泵本身要保持清洁干燥，泵内得油具有密封与润滑作用，因此要按照规定量添加。
3、要定期更换泵油，更换得时候要先排出以前得废油，周期为至少三个月至半年更换一次。
4、要按照说明书接好电线。
5、机械泵停止工作前要先关闭进气阀门，再停电并开放气阀，将大气通过进气口放入泵中。
6、泵在工作期间，油温不可以超过75摄氏度，否则会由于油得黏度过小而导致密封不严。
7、要不定期检点机械泵得皮带松紧度、电机得转速，罗茨泵电机得转速，与密封圈得密封效果。
油扩散泵：机械泵得极限真空只有10-2帕，当达到10-1帕得时候，实际抽速只有理论得1/10，如果要获得高真空得话，必须采用油扩散泵。
由于油扩散泵就是最早用来获得高真空得泵，其由于造价便宜，维护方便，使用广泛，所以本文将重点讨论。
油扩散泵得应用压强范围就是10-1帕-10-7帕，它就是利用气体得扩散现象来排气得，它具有结构简单，操作方便，抽速大（最高可以达到10+5升/秒）等特点。油扩散泵主要由泵壳、喷嘴、导流管与加热