靶材安装结构及真空镀膜机.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115976477A(43)申请公布日2023.04.18(21)申请号202211601128.4(22)申请日2022.12.12(71)申请人佛山市博顿光电科技有限公司地址528000广东省佛山市南海区狮山镇信息大道南33号力合科技产业中心加速器项目69栋第三层301单元(住所申报)申请人中山市博顿光电科技有限公司(72)发明人刘伟基冀鸣蒋毅易洪波李宏盛赵刚(74)专利代理机构广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙)44614专利代理师古嘉华(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图7页(54)发明名称靶材安装结构及真空镀膜机(57)摘要本申请涉及一种靶材安装结构及真空镀膜机，靶材安装结构包括背板结构和固定装置，背板结构通过活动式的连接组件与固定装置进行连接；背板结构包括多块拼接的子背板；每个子背板的正面用于焊接对应形状的靶材；固定装置包括：支撑轴以及第一旋转结构，第一旋转结构设于支撑轴的一端，使得连接组件绕支撑轴进行转动；各个子背板的背面中心位置连接有第二旋转结构，使得子背板绕该中心位置在背板平面上进行转动；各个子背板上的第二旋转结构的连接组件通过连接到第一旋转结构上；其中，各个子背板的第二旋转结构通过所述连接组件在背板平面上进行扩张和收缩移动。该技术方案，提升了调整效率以及更换靶材的效率。CN115976477ACN115976477A权利要求书1/2页1.一种靶材安装结构，包括背板结构和固定装置，其特征在于，所述背板结构通过活动式的连接组件与固定装置进行连接；所述背板结构包括多块拼接的子背板；每个子背板的正面用于焊接对应形状的靶材；所述固定装置包括：支撑轴以及第一旋转结构，所述第一旋转结构设于支撑轴的一端，使得所述连接组件绕支撑轴进行转动；各个子背板的背面中心位置连接有第二旋转结构，使得子背板绕该中心位置在背板平面上进行转动；各个子背板上的第二旋转结构的连接组件通过连接到所述第一旋转结构上；其中，各个子背板的第二旋转结构通过所述连接组件在背板平面上进行扩张和收缩移动。2.根据权利要求1所述的靶材安装结构，其特征在于，所述连接组件包括：与背板平面平行设置的平板，其中，所述支撑轴通过第一旋转结构与所述平板中心连接；所述平板沿平板中心向外延伸开设有多条卡槽；其中，每条卡槽对应安装一个子背板及其第二旋转结构；所述子背板及其第二旋转结构沿所述卡槽进行扩张和收缩移动。3.根据权利要求1所述的靶材安装结构，其特征在于，所述连接组件包括：分别连接各个子背板的第二旋转结构与所述第一旋转结构的多个第一伸缩装置；其中，每个第一伸缩装置对应安装一个子背板及其第二旋转结构；所述子背板及其第二旋转结构沿通过所述第一伸缩装置在背板平面上进行扩张和收缩移动。4.根据权利要求3所述的靶材安装结构，其特征在于，所述第一旋转结构包括多个分别绕所述支撑轴进行转动的第一子旋转结构；其中，每个所述第一子旋转结构连接一个第一伸缩装置的一端；各个所述第一子旋转结构串联设于支撑轴的一端；各个子背板的第二旋转结构分别通过一个第二伸缩装置与所述第一伸缩装置的另一端连接；其中，所述第二伸缩装置推动所述子背板及其第二旋转结构沿垂直于背板平面方向上进行伸缩移动。5.根据权利要求1所述的靶材安装结构，其特征在于，各个子背板的第二旋转结构通过调角结构与连接组件连接；其中，所述子背板通过所述调角结构调整靶材与所述背板平面之间的倾角，以调整靶材的溅射方向。6.根据权利要求1所述的靶材安装结构，其特征在于，各个子背板上还设有平面度检测装置；其中，所述平面度检测装置用于在非镀膜状态下检测各个靶材表面的平面度参数，用于确定靶材表面消耗状态。7.根据权利要求1‑6任一项所述的靶材安装结构，其特征在于，所述第一旋转结构安装有连接工控机的第一驱动电机，用于驱动所述连接组件绕支撑轴进行转动；所述第二旋转结构安装有连接工控机的第二驱动电机，用于驱动所述子背板绕该中心位置在背板平面上进行转动；各个所述第一子旋转结构分别安装有连接工控机的第一子驱动电机，用于分别驱动各2CN115976477A权利要求书2/2页个所述第一伸缩装置绕支撑轴进行转动；所述调角结构内置有连接工控机的角度调整驱动装置，用于调整调角结构的倾角；或者所述平面度检测装置连接工控机，所述平面度检测装置将检测的靶材表面的平面度参数输出至所述工控机。8.一种真空镀膜机，用于离子束溅射镀膜，其特征在于，包括：真空腔体，离子源，权利要求1‑7任一项所述的靶材安装结构，以及工控机；所述靶材安装结构的固定装置通过所述支撑轴固定在真空腔体内；所述工控机用于控制真空镀膜机进行镀膜，控制所述第一驱动电机、第一子驱动电机和第二驱动电机，和/或控制所