一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103397299A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103397299103397299A(43)申请公布日2013.11.20(21)申请号201310324418.3(22)申请日2013.07.30(71)申请人林正亮地址317525浙江省台州市温岭市大溪镇下洋岙站前东路579号(72)发明人林正亮(74)专利代理机构杭州九洲专利事务所有限公司33101代理人王凯音(51)Int.Cl.C23C14/24(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书3页说明书3页附图2页附图2页(54)发明名称一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机(57)摘要本发明属于真空镀膜设备领域，尤其是涉及一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机。包括固定轨道一和设置在固定轨道一上的真空仓体；所述真空仓体右侧设置有一卷绕台车；所述卷绕台车通过其底部的轮子可滑动的设置在所述固定轨道一上。所述固定轨道一上还设置有一蒸发台车和一旋转机构；所述的蒸发台车处于真空仓体左侧，该蒸发台车具有第一台面和第二台面，其中第一台面上设置有锌、铝蒸发源，第二台面上设置有铝蒸发源，第一台面和第二台面对称设置在蒸发台车两侧；所述的旋转机构设于固定轨道一左侧。本发明很好地解决了放气问题、污染问题，降低电器故障，机械可靠性更完善，极大提高生产效率。CN103397299ACN103972ACN103397299A权利要求书1/1页1.一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机，包括固定轨道一和设置在固定轨道一上的真空仓体；所述真空仓体右侧设置有一卷绕台车；所述卷绕台车通过其底部的轮子可滑动的设置在所述固定轨道一上；其特征在于：所述固定轨道一上还设置有一蒸发台车和一旋转机构；所述的蒸发台车处于真空仓体左侧，该蒸发台车具有第一台面和第二台面，其中第一台面上设置有锌、铝蒸发源，第二台面上设置有铝蒸发源，第一台面和第二台面对称设置在蒸发台车两侧；所述的旋转机构设于固定轨道一左侧。2.根据权利要求1所述的具有双台面蒸发台车的真空镀膜机，其特征在于：所述的旋转机构包括固定轨道二、滑动底座、旋转轨道、旋转主动齿轮、旋转从动齿轮、从动齿轮轴和电机；所述的滑动底座通过其底部的轮子可滑动的设置在所述固定轨道二上；所述的从动齿轮轴垂直固定于滑动底座上，旋转从动齿轮套于从动齿轮轴上，旋转轨道固定于旋转从动齿轮上；旋转主动齿轮与电机输出轴固定连接，旋转主动齿轮和旋转从动齿轮啮合。3.根据权利要求1所述的具有双台面蒸发台车的真空镀膜机，其特征在于：所述的旋转轨道和固定轨道一处于同一水平面，旋转轨道和固定轨道一相接。2CN103397299A说明书1/3页一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机技术领域[0001]本发明属于真空镀膜设备领域，尤其是涉及一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机。背景技术[0002]纵观现有的铝膜或锌铝复合膜蒸发源设计技术，都是采用（1）复合锌铝蒸发源和铝蒸发源采用同一套蒸发源同用（2）采用二只蒸发源台车将锌铝复合蒸发源和铝蒸发源分开。针对第（1）点采用同一蒸发源同用技术，会造成如下问题：a、反复更换铝蒸发源和锌铝复合蒸发源，会造成比如说在蒸镀锌铝复合膜后再镀铝膜，由于锌蒸发源的常温存在，在预抽真空和蒸镀时，锌蒸发源里的材料包括石棉、耐火材料等会逐步放气，导致预抽真空速度慢以及在蒸镀过程中的逐步放气会导致真空度降低从而影响镀层品质。另外，由于锌蒸发源的石棉会产生粉尘会污染膜层导致铝膜上有金属或非金属颗粒，由于铝膜没有自愈性能，最终导致电容器爆炸。另外，由于蒸镀铝膜和锌铝复印膜在铝丝送入的速度和蒸发电流根本不一样，从而导致机器的电器故障而影响机器寿命。还有一点是会影响真空仓体及蒸发系统的污染更严重，亦会导致机械、电器故障。由于要兼顾铝膜或锌铝膜及大提高能耗。[0003]b、采用二只蒸发源台车虽然解决了上述问题，但是由于每次更换蒸发源台车很多线路要重新连接，会产生浪费大量时间及容易产生误接线路的故障问题，并且在机械上存在结构复杂、成本提高，而且更换时台车要反复移动而影响镀膜精度，也会造成辅助工时及大提高，从而提高生产成本。发明内容[0004]本发明的目的是要解决现有技术的不足之处，而提供一种铝蒸发源和锌铝蒸发源分开，能方便更换铝蒸发源和锌铝蒸发源的具有双台面蒸发台车的真空镀膜机。[0005]本发明的目的是通过下列技术方案解决的：一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机，包括固定轨道一和设置在固定轨道一上的真空仓体；所述真空仓体右侧设置有一卷绕台车；所述卷绕台车通过其底部的轮子可滑动的设置在所述固定轨道一上；其特征在于：所述固定轨道一上还设置有一蒸发台车和一旋转机构；所述的蒸发台车处于真空仓体左侧，该蒸发台车具有第一台面和第二台面，其中第