

一种真空镀膜机的蒸发装置.pdf
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相关资料
一种真空镀膜机的蒸发装置.pdf
本发明涉及一种真空镀膜机的蒸发装置,其包括:蒸发舟、加热系统、布气系统,蒸发舟包括有蒸发舟内层、蒸发舟外层和活动盖板,蒸发舟内层位于蒸发舟外层与活动盖板之间,活动盖板开设有多个蒸发孔,蒸发舟内层上开设有与蒸发孔对应的蒸发凹槽;加热系统包括多个相对独立的蒸发源,蒸发源设置有内坩埚,内坩埚嵌套于蒸发凹槽内,蒸发源能够对放置在内坩埚内的物体进行加热;设置多级二元型结构的布气管路,实现进气量的均匀性的控制,使蒸发气体与外部通入气体可以充分混合,形成均匀的复合薄膜。本发明采用蜂窝状结构的蒸发源加热效率高,能够保证材
一种真空电子束蒸发镀膜机.pdf
本申请涉及一种真空电子束蒸发镀膜机,其包括机箱,所述机箱内设置有真空腔与设备腔,所述真空腔内设置有装载机构,装载机构包括工件盘,所述工件盘内设置有基材板,且真空腔的一侧内壁上铰接安装有电子枪,所述真空腔的底部内壁上固定连接有伸缩架,所述伸缩架上设置有坩埚,且伸缩架上设置有调节机构,调节机构包括调节螺纹筒,所述调节螺纹筒固定连接在伸缩架的底部,调节机构还包括调节螺杆,所述调节螺杆转动设置在真空腔内,且调节螺纹筒螺纹连接套设在调节螺杆上,本申请中,通过设置工件盘,可以方便装载基材板,同时通过调节螺纹筒可以推动
一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机.pdf
本发明属于真空镀膜设备领域,尤其是涉及一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机。包括固定轨道一和设置在固定轨道一上的真空仓体;所述真空仓体右侧设置有一卷绕台车;所述卷绕台车通过其底部的轮子可滑动的设置在所述固定轨道一上。所述固定轨道一上还设置有一蒸发台车和一旋转机构;所述的蒸发台车处于真空仓体左侧,该蒸发台车具有第一台面和第二台面,其中第一台面上设置有锌、铝蒸发源,第二台面上设置有铝蒸发源,第一台面和第二台面对称设置在蒸发台车两侧;所述的旋转机构设于固定轨道一左侧。本发明很好地解决了放气问题、污染问题,降低电器
一种电子束蒸发真空镀膜机.pdf
本发明公开了一种电子束蒸发真空镀膜机,包括真空镀膜机机体,真空镀膜机机体顶部的左侧固定连接有第一风扇。本发明通过设置真空镀膜机机体、第一风扇、水箱、防水电机、搅拌杆、搅拌叶、散热导板、散热铜管、第二风扇、第一防护网、排水管、进水槽、卡槽、滤网、限位板、限位槽、限位块、限位杆、支杆、弹簧、第一环形块、第二环形块、潜水泵、出水管、环形管与进水管的配合使用,解决了工业生产中需要使用真空镀膜机,真空镀膜机大多是需要在较高温度下进行的镀膜,现有的真空镀膜机在工作时会散发出许多的热量,电子设备也会因长期的高温对电子元
一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置.pdf
本发明公开了一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置,包括传输机构和平移机构,传输机构包括多根穿过真空室两侧侧板的传动杆,传动杆的两端分别安装在两块安装板上,在真空室外的传动杆外套有波纹管,传动杆一端的末端安装有同步带轮,相邻两根传动杆上的同步带轮安装位置相对,两块安装板上的马达通过同步带与同侧的传动杆上的同步带轮连接,在真空室内的传动杆上装有摩擦轮,相邻两根传动杆上的摩擦轮交错排布,平移机构包括平移马达、丝杠、丝杠螺母、平移导向装置,平移马达通过同步带与丝杠连接,丝杠螺母通过连接杆与安装板连接。本发明实现了