一种硅晶体切割机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103419289A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103419289103419289A(43)申请公布日2013.12.04(21)申请号201210162040.7(22)申请日2012.05.23(71)申请人浙江硅宏电子科技有限公司地址324300浙江省衢州市开化县华埠镇华丰路28号(硅宏)(72)发明人王土军徐增宏方明游叶槐勇(74)专利代理机构杭州之江专利事务所(普通合伙)33216代理人林蜀(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书2页说明书2页附图2页附图2页(54)发明名称一种硅晶体切割机(57)摘要本发明涉及一种硅晶体切割机，该机的平面滑轨组件、放线排线机构、收线排线机构和凸轮曲轴传动机构设置在机座的工作平台上；放线导线轮组件、放线张力机构、收线导线轮组件、收线张力机构和传动轴座固定设置在平面滑轨组件上；线轮固定架的一端与平面滑轨组件固定连接，传动轴座和凸轮曲轴传动机构通过连动杆相连接；砂浆箱和垂直滑轨组件设置在机座的工作平台下，砂浆箱活动连接在垂直滑轨组件上，线轮固定架的另一端位于砂浆箱中，进给丝杆与砂浆箱相连接，进给丝杆通过丝杆轴承座连接在机座上。采用本发明，可以更好地控制切割截面的垂直度，提高切割质量，更有利于后道多线切割硅片的出片率和正品率。CN103419289ACN1034928ACN103419289A权利要求书1/1页1.一种硅晶体切割机，包括机座、平面滑轨组件、放线排线机构、放线导线轮组件、放线张力机构、收线排线机构、收线导线轮组件、收线张力机构、传动轴座、连动杆、凸轮曲轴传动机构、放线张力机构、切割进给机构、线轮固定架、砂浆箱、垂直滑轨组件、进给丝杆、丝杆轴承座组成，其特征在于平面滑轨组件、放线排线机构、收线排线机构和凸轮曲轴传动机构设置在机座的工作平台上；放线导线轮组件、放线张力机构、收线导线轮组件、收线张力机构和传动轴座固定设置在平面滑轨组件上；线轮固定架的一端与平面滑轨组件固定连接，传动轴座和凸轮曲轴传动机构通过连动杆相连接；砂浆箱和垂直滑轨组件设置在机座的工作平台下，砂浆箱活动连接在垂直滑轨组件上，线轮固定架的另一端位于砂浆箱中，进给丝杆与砂浆箱相连接，进给丝杆通过丝杆轴承座连接在机座上。2.根据权利要求1所述的一种硅晶体切割机，其特征在于它包括砂浆管和硅棒夹，砂浆管设置在砂浆箱上部，硅棒夹设置在砂浆箱底部。2CN103419289A说明书1/2页一种硅晶体切割机技术领域[0001]本发明涉及一种硅晶体切割机。背景技术[0002]目前，在硅电子行业中，通常使用带锯对硅晶体（单晶硅棒、多晶硅块等）进行切除头尾的切割，这种切割设备及方法一是造成硅晶体的截面垂直度不好，影响后续多线切割硅片的出片率和正品率；二是带锯锯片损耗大，成本高。发明内容[0003]本发明的目的是提供切割硅晶体时的截面垂直度好的一种硅晶体切割机。[0004]本发明采取的技术方案是：一种硅晶体切割机，包括机座、平面滑轨组件、放线排线机构、放线导线轮组件、放线张力机构、收线排线机构、收线导线轮组件、收线张力机构、传动轴座、连动杆、凸轮曲轴传动机构、放线张力机构、切割进给机构、线轮固定架、砂浆箱、垂直滑轨组件、进给丝杆、丝杆轴承座组成，其特征在于平面滑轨组件、放线排线机构、收线排线机构和凸轮曲轴传动机构设置在机座的工作平台上；放线导线轮组件、放线张力机构、收线导线轮组件、收线张力机构和传动轴座固定设置在平面滑轨组件上；线轮固定架的一端与平面滑轨组件固定连接，传动轴座和凸轮曲轴传动机构通过连动杆相连接；砂浆箱和垂直滑轨组件设置在机座的工作平台下，砂浆箱活动连接在垂直滑轨组件上，线轮固定架的另一端位于砂浆箱中，进给丝杆与砂浆箱相连接，进给丝杆通过丝杆轴承座连接在机座上。[0005]所述的包括砂浆管和硅棒夹，砂浆管设置在砂浆箱上部，硅棒夹设置在砂浆箱底部。[0006]采用本发明，不但可以更好地控制切割截面的垂直度，提高切割质量，更有利于后道多线切割硅片的出片率和正品率，而且可以利用多线切割硅片后的废钢线进行切割，降低生产成本。附图说明[0007]图1是本发明的正视示意图。[0008]图2是本发明的右侧示意图。[0009]图3是本发明俯视示意图。[0010]图中序号表示：收线张力机构1、收线导线轮组件2、钢线3、收线排线机构4、平面滑轨组件5、线轮固定架6、放线排线机构7、放线导线轮组件8、放线张力机构9、传动轴座10、连动杆11、凸轮曲轴传动机构12、机座13、砂浆箱14、垂直滑轨组件15、丝杆螺母16、硅棒17、丝杆轴承座18、进给动力装置19、进给丝杆20、硅棒夹21和砂浆管22。具体实施方式3CN