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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103587954103587954A(43)申请公布日2014.02.19(21)申请号201310631572.5(22)申请日2013.11.29(71)申请人上海集成电路研发中心有限公司地址201210上海市浦东新区浦东张江高斯路497号(72)发明人尹哲坚(74)专利代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275代理人吴世华林彦之(51)Int.Cl.B65G49/07(2006.01)B65G35/00(2006.01)H01L21/677(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书3页说明书3页附图1页附图1页(54)发明名称用于自动化物料传输系统的输送车(57)摘要本发明公开了一种用于自动化物料传输系统的输送车,其包括车身、车壳、车轮、升降机构、取放机构以及控制单元;其中,车壳在面相输送车前进和后退方向的两个侧面为前侧面与后侧面,前侧面与后侧面上分别具有至少一个入风口,车身底面的车壳具有至少一个出风口,至少一个入风口与该出风口连通。本发明通过在前侧面与后侧面车壳上设置入风口,并连通设置在车身底面车壳上出风口,使行驶过程中从入风口吸入迎面的气流,并从出风口向下排出,在减少风阻的同时,向下的气流会抵消一小部分输送车的自重,使得输送车的加速、行驶更为顺畅。CN103587954ACN10358794ACN103587954A权利要求书1/1页1.一种用于自动化物料传输系统的输送车,其特征在于,其包括:车身,具有车壳;车轮,设于车身顶部,车身通过车轮悬吊于系统的轨道上并行使;升降机构,设于车身底部并可向下伸缩;取放机构,设于升降机构下方末端,用于取放硅片盒;以及控制单元;其中,该车壳在面相输送车前进和后退方向的两个侧面为前侧面与后侧面,该前侧面与后侧面上分别具有至少一个入风口,该车身底面的车壳具有至少一个出风口,该至少一个入风口与该出风口连通。2.根据权利要求1所述的用于自动化物料传输系统的输送车,其特征在于:该车身底面的车壳具有至少两个出风口,该车壳前侧面上的入风口与后侧面上的入风口与不同的出风口连通。3.根据权利要求2所述的用于自动化物料传输系统的输送车,其特征在于:该车壳前侧面上的入风口与后侧面上的入风口分别与直线距离最近的出风口连通。4.根据权利要求3所述的用于自动化物料传输系统的输送车,其特征在于:该前侧面上入风口或后侧面上入风口的开口总面积是与其相连出风口开口总面积的1-20倍。5.根据权利要求1所述的用于自动化物料传输系统的输送车,其特征在于:该出风口处还设有旋转叶片。6.根据权利要求5所述的用于自动化物料传输系统的输送车,其特征在于:该入风口处还设有旋转叶片。7.根据权利要求6所述的用于自动化物料传输系统的输送车,其特征在于:该旋转叶片与电机相连,该电机还与控制单元相连,以驱动其正向或反向旋转。8.根据权利要求1至7任一项所述的用于自动化物料传输系统的输送车,其特征在于:该输送车车壳的主要成分为碳纤维。2CN103587954A说明书1/3页用于自动化物料传输系统的输送车技术领域[0001]本发明涉及半导体集成电路物料输送设备技术领域,尤其涉及一种硅片盒自动搬送系统中的输送车。背景技术[0002]随着半导体技术的发展,300mm硅片已经逐步取代200mm硅片成为主流,每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此,仍然借助人力手工搬送,不仅会降低效率,还存在搬运人员人身伤害的可能。同时,半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛,自动化物料传输系统(AutomatedMaterialHandlingSystems,简称AMHS)作为连接各个制造模块之间输送硅片的纽带的重要性也日益凸显出来。[0003]现有技术中,用于300mm硅片制造的一种主流AMHS是采用悬吊式搬送系统,其包括多个用于存放半导体硅片的硅片存储设备(STOCKER)和一个或多个空中升降机输送车(OverheadHoistTransport,简称OHT),用于在硅片制造区域的各工位之间传送硅片。存放在STOCKER中的硅片被装入盒式容器,例如前端开口片盒(FrontOpeningUnifiedPod,简称FOUP),随后它们被传递到在悬垂轨道上行进的OHT输送车。[0004]然而,输送车的重量一般在上百公斤,大重量导致其启动和制动需要耗费较多能源和时间,频繁的启动和制动也会对输送车本身以及轨道造成一定损伤。发明内容[0005]本发明的目的在于弥补上述现有技术的不足,提供一种新的用于自动化物料传输系统的输送车。[0006]为实现上述目的,本发明提供一种用于自动化物料传输系统的输送车,其包括:[