用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103482474103482474A(43)申请公布日2014.01.01(21)申请号201310446596.3(22)申请日2013.09.26(71)申请人上海集成电路研发中心有限公司地址201210上海市浦东新区张江高斯路497号(72)发明人李小刚钱刚(74)专利代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275代理人吴世华林彦之(51)Int.Cl.B66C7/08(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图3页附图3页(54)发明名称用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道(57)摘要本发明公开了一种用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道，其包括两条相互平行的导轨以及分别将两条导轨固定于操作空间顶部的两条连接臂，每条该导轨都具有与运输车的车轮外圈结构相匹配的顶部结构，以使得车轮放置到该导轨上可以沿着导轨滚动，该两条导轨的内侧面之间沿导轨延伸方向具有均匀的间隙，以供连接运输车车体与车轮的连接杆通过，该连接臂一端固定于该导轨的外侧面或底部，其另一端固定于操作空间的顶部。本发明通过双轨并行、车轮倒挂等方式，增加了轨道的负重能力、稳定性、安全性。CN103482474ACN1034827ACN103482474A权利要求书1/1页1.一种用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道，其特征在于：其包括两条相互平行的导轨以及分别将两条导轨固定于操作空间顶部的两条连接臂，每条该导轨都具有与运输车的车轮外圈结构相匹配的的顶部结构，以使得车轮放置到该导轨上可以沿着导轨滚动，该两条导轨的内侧面之间沿导轨延伸方向具有均匀的间隙，以供连接运输车车体与车轮的连接杆通过，该连接臂一端固定于该导轨的外侧面或底部，其另一端固定于操作空间的顶部。2.根据权利要求1所述的用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道，其特征在于：该导轨的顶部结构具有沿导轨延伸方向的凹槽，以配合具有凸环的车轮外圈结构。3.根据权利要求1所述的用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道，其特征在于：该导轨的顶部结构具有沿导轨延伸方向的凸缘，以配合具有凹环的车轮外圈结构。4.根据权利要求2或3所述的用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道，其特征在于：该凹槽、凸环以及凸缘、凹环的截面为弧形。5.根据权利要求1所述的用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道，其特征在于：该两条导轨的内侧面之间的最小间隙为30-100mm，且沿导轨延伸方向的间隙公差在0-5%之间。6.根据权利要求1所述的用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道，其特征在于：该导轨上每隔0.3-3m设置一对连接臂，每对连接臂设置在两条导轨各自外侧面或底部的相同位置。7.根据权利要求6所述的用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道，其特征在于：至少一对该连接臂的中间还固定连接至少一根加固杆。8.根据权利要求6或7所述的用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道，其特征在于：每对该连接臂的顶端均固定于一固定板之上，该固定板整体固定于操作空间的顶部。9.根据权利要求8所述的用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道，其特征在于：该连接臂上的拐角处还固定有一支撑杆，以与拐角形成三角架。10.根据权利要求1所述的用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道，其特征在于：该导轨和连接臂均为碳钢材质，其含有碳0.37～0.45wt%、硅0.17～0.37wt%、锰0.5～0.8wt%、铝0.1-0.5wt%和铁98.28～98.96wt%。2CN103482474A说明书1/4页用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道技术领域[0001]本发明涉及半导体集成电路物料输送设备技术领域，尤其涉及一种硅片盒自动搬送系统中的悬挂式轨道。背景技术[0002]随着半导体技术的发展，300mm硅片已经逐步取代200mm硅片成为主流，每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统（AutomatedMaterialHandlingSystems，简称AMHS）作为连接各个制造模块之间输送硅片的纽带的重要性也日益凸显出来。[0003]现有技术中，用于300mm硅片制造的一种主流AMHS包括多个用于存放半导体硅片的硅片存储设备（STOCKER）和一个或多个空中升降机输送车（OHT），用于在硅片制造区域的各工位之间传送硅片。存放在STOCKER中的硅片被装入盒式容器，例如前端开口片盒（FrontOpeningUnifiedPod，简称FOUP），随后它们被传递到在悬垂轨道上行进的OHT。[0004]其中，所有的这些传输都是基于悬垂在天花