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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103600991103600991A(43)申请公布日2014.02.26(21)申请号201310551903.4(22)申请日2013.11.08(71)申请人上海集成电路研发中心有限公司地址201210上海市浦东新区张江高斯路497号(72)发明人尹哲坚(74)专利代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275代理人吴世华林彦之(51)Int.Cl.B65G49/07(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图2页附图2页(54)发明名称自动化物料传输系统(57)摘要本发明公开了一种自动化物料传输系统,其包括多个机台;轨道结构,每个机台堆叠部的宽度对应上方的轨道形成存取区间段,每个存取区间段的两侧各设有一个信号发射器;至少一辆输送车,具有用于接收信号发射器发出的信号的信号接收器,且其与输送车的驱动装置信号连接;以及控制单元,与机台和输送车信号连接。本发明在机台硅片盒堆叠部位置的存取区间段两侧设置信号发射器,并在输送车上设置信号接收器,使其不需要在存取硅片盒的时候完全停止,可以有效提高搬送效率,节省能源,减小轨道和输送车车轮的磨损。CN103600991ACN10369ACN103600991A权利要求书1/1页1.一种自动化物料传输系统,其特征在于,其包括:多个机台,呈矩阵状布设,每列机台之间形成机台走道,每个机台都具有堆放硅片盒的堆叠部;轨道结构,包括贯穿于机台走道并相互连通的多条轨道,该多条轨道设于机台矩阵硅片盒堆叠部的上方,每个堆叠部的宽度对应上方的轨道形成存取区间段,每个该存取区间段的两侧各设有一个信号发射器;至少一辆输送车,悬挂于于轨道结构上并可沿着轨道行进,该输送车具有用于接收该信号发射器发出的信号的信号接收器,且其与输送车的驱动装置信号连接;以及控制单元,与该机台和输送车信号连接。2.根据权利要求1所述的自动化物料传输系统,其特征在于:每个该存取区间段两侧的两个信号发射器信号发射范围不重叠。3.根据权利要求2所述的自动化物料传输系统,其特征在于:该信号发射器的信号发射半径为1-30cm。4.根据权利要求2所述的自动化物料传输系统,其特征在于:该信号发射器的发射方向为从轨道向上或向下,该输送车在悬挂于轨道时的轨道下方或上方位置处设有信号接收器,以接收信号发射器发出的减速和/或加速指令。5.根据权利要求2所述的自动化物料传输系统,其特征在于:该信号发射器设于存取区间段两端以外0-20cm的位置。6.根据权利要求1至5任一项所述的自动化物料传输系统,其特征在于:该信号发射器还与控制单元信号连接,其发出的信号包括识别信息,该输送车还包括信息识别模块,用以对该识别信息进行识别判断。7.根据权利要求1至5任一项所述的自动化物料传输系统,其特征在于:该堆叠部还具有伸缩式的硅片盒存取机构。8.根据权利要求7所述的自动化物料传输系统,其特征在于:该存取机构包括可上下前后伸缩的机械臂以及机械臂前端的硅片盒抓取部件。9.根据权利要求7所述的自动化物料传输系统,其特征在于:该存取机构与控制单元或机台信号连接。2CN103600991A说明书1/4页自动化物料传输系统技术领域[0001]本发明涉及半导体集成电路物料输送机台技术领域,尤其涉及一种用于自动化物料传输系统。背景技术[0002]随着半导体技术的发展,300mm硅片已经逐步取代200mm硅片成为主流,每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此,仍然借助人力手工搬送,不仅会降低效率,还存在搬运人员人身伤害的可能。同时,半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛,自动化物料传输系统(AutomatedMaterialHandlingSystems,简称AMHS)作为连接各个制造模块之间输送硅片的纽带的重要性也日益凸显出来。[0003]现有的AMHS系统均采用悬挂于天花板上的多条轨道结构与轨道上行驶的OHT输送车,往返于各个机台之间(tooltotool输送模式),或往返于机台与暂存区Stocker之间(走道间系统interbay与走道内系统intrabay)。如图4所示的采用走道间、走道内的输送系统,机台走道每一边的每一台机台10安装有硅片盒堆叠部20(loadport),OHT输送车70(overheadhoisttransport)能抓起堆叠部20上的硅片盒30,并通过轨道结构60传送至另一台机台10的堆叠部20上。这种硅片盒30在同一走道内的输送过程称为走道内系统110,而硅片盒30在不同走道之间的输送过程则称为走道间系统100。走道内系统110的输送使用OHT输送车70,走道间系统100的输送则是先将