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GaAsMESFET电子辐照效应的研究 引言 GaAs金属半导体场效应晶体管(MESFET)是一种开关型晶体管,其应用范围广泛,包括微波放大,低噪声前置放大器,以及控制电路等领域。然而,在一些极端环境下,如高剂量电子辐照下,GaAsMESFET的性能会受到损害。电子辐照会导致器件参数的漂移、降低电流增益以及降低电流饱和特性等。 本文将探讨电子辐照对GaAsMESFET性能的影响,并介绍常见的电子辐照效应(single-eventeffects)和加强设备耐辐照的方法。 主体 1.电子辐照效应 在GaAsMESFET中,电子辐照会引起以下效应: (1)动态效应:当高能电子击中器件时,电子-孔对会在介质内产生活跃化,当足够数量的活跃位被产生时,介质的导电性质会发生改变,造成瞬时电流反应。 (2)静态效应:当辐照引起器件中能量密集点的形成时,例如介质中的介电强度增加时,器件的直流样品会发生变化,而且可能会在继续辐射的情况下一直持续下去。 其中,静态效应的影响更明显,因此GaAsMOSFET的性能也更不稳定。当低能电子击打晶体管时,它将会产生缺陷对,最终降低晶体管的电子迁移率。在高剂量电子辐照下,器件的电流增益、传输特性以及DC参数都会受到影响。 2.异物离子注入 异物离子注入是一种有效的方法,用于提高GaAsMESFET在辐照情况下的耐受能力。异物离子可以用于控制引起辐照效应的能量和原子量,并且可以减少辐照在器件中产生的缺陷数量,从而降低器件参数漂移的风险。 3.设计优化 优化器件的设计是一种提高GaAsMESFET在辐照条件下耐受能力的有效方法。以下是一些最常用的设计改进方法: (1)加宽栅氧化层,从而减少辐照对栅氧化层的影响。 (2)增强电离辐照下器件的耐受性,通常是通过引入衬底良好的异质结或安装二极管瞬变抑制器来实现。 (3)提高晶体管的源-漏电导和电压低抖动。 结论 总体而言,电子辐照对GaAsMESFET性能的影响是不可忽略的。在现有技术下,解决电子辐照问题的方法是有限的,任何一种方法都不能完全消除电子辐照带来的损伤。因此,优化器件设计、使用异物离子注入以及使用二极管瞬变抑制器等方法都可以帮助GaAsMESFET在高剂量辐射下获得更好的性能。