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GaAsMESFET和HEMT器件的HPM电热损伤效应研究的中期报告 一、研究背景 随着高功率微波(HPM)技术在军事和民用领域的广泛应用,HPM电热损伤技术成为了一种重要的手段,用于干扰或破坏电子设备,特别是半导体器件。HPM波在遇到半导体器件时,会产生高能电子和离子流,这些粒子流会破坏半导体晶片内部的电子结构,导致器件失效。因此,研究半导体器件在HPM波下的电热损伤效应对于提高半导体器件的抗干扰能力至关重要。 本次研究选择GaAs材料的MESFET和HEMT器件,是因为GaAs材料的半导体器件具有高的工作频率和功率密度,为HPM电热损伤研究提供了良好的研究对象。 二、研究目的 本次研究的目的是探究GaAsMESFET和HEMT器件在HPM波下的电热损伤效应,研究器件的干扰特性、敏感度和承受能力,并为进一步研究HPM波对其他材料的半导体器件的影响提供一定的参考和经验。 三、研究方法 本次研究采用以下方法对GaAsMESFET和HEMT器件在HPM波下的电热损伤效应进行研究: 1.仿真模拟:使用电磁场和器件仿真软件对HPM波在器件内的传播和干扰效应进行模拟。 2.实验测试:使用高功率微波发生器对不同功率和频率的HPM波进行实验测试,并对经过HPM波干扰后的GaAsMESFET和HEMT器件进行性能测试和电热损伤效应分析。 3.分析比较:对仿真模拟和实验测试的结果进行比较和分析,探究GaAsMESFET和HEMT器件在HPM波下的电热损伤效应的规律和机制。 四、研究进展 目前,本次研究已经完成了以下工作: 1.通过对GaAs材料的MESFET和HEMT器件的仿真模拟,分析了HPM波在GaAs晶片内的传播和干扰效应,并给出了器件内部电热损伤效应的模拟结果。 2.通过对不同功率和频率的HPM波的实验测试,得到了GaAsMESFET和HEMT器件在HPM波下的电热损伤效应的实验结果。通过性能测试和电热损伤效应分析,得到了器件的干扰特性、敏感度和承受能力等相关参数。 3.通过比较仿真和实验结果,探究GaAsMESFET和HEMT器件在HPM波下的电热损伤效应的规律和机制,并从理论上分析了器件的失效机理和损伤程度。 五、研究结论 通过对GaAsMESFET和HEMT器件在HPM波下的电热损伤效应的研究,得到以下结论: 1.HPD电磁场作用下,GaAsMESFET和HEMT器件的输出特性几乎全部丧失。 2.随着HPM波功率的增加,GaAsMESFET和HEMT的输入电阻、反向漏电流和饱和电流等性能参数逐渐恶化,最终导致器件失效。 3.在相同的HPM波功率下,HEMT失效比MESFET更早。 4.器件的工作频率和HPM波的频率有关系,不同的频率下损失的特性可能不完全相同。 综上,本次研究为GaAsMESFET和HEMT器件在HPM波下的电热损伤效应提供了一定的研究结果和经验,有助于提高半导体器件的抗干扰能力。同时,本次研究也将在未来研究中为对其他材料的半导体器件的电热损伤效应的研究提供一定的思路和方法。