

300 mm快速升降温炉体的研究.docx
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300 mm快速升降温炉体的研究.docx
300mm快速升降温炉体的研究摘要:在现代材料科学和工艺控制领域,温度控制是非常重要的一项技术。本文研究了一种300mm快速升降温炉体,其中涉及到了炉体设计、加热元件选型以及控制系统等方面。我们提出的设计方案可以实现短时间内对材料进行快速升温或降温,提高了炉体加工效率。本文介绍了该炉体设计的具体参数、炉体结构和控制系统等方面,并对其性能进行了实验验证。关键词:温度控制,快速升降温,炉体设计,加热元件,控制系统1.引言温度控制是材料科学和工艺控制领域中非常重要的一项技术。现代工业生产中的各种化学反应、物理变
一种用于快速降温的炉体.pdf
本发明涉及半导体工艺设备技术领域,尤其涉及一种用于快速降温的炉体,在所述炉体的保温层内设有分别沿所述炉体轴向和周向延伸的纵向风道和横向风道,所述炉体底部的保温块上设有环形凹槽状的进风环,所述进风环上设有进风口,所述纵向风道连通所述进风口;所述横向风道的一端连通所述纵向风道,另一端连通所述炉体的炉膛,所述炉膛与所述出风口连通。通过纵向风道和横向风道可以获得较快的降温速率,使得工艺时间变短,保证了片子成膜的质量,降低了生产成本。
一种卧式扩散炉快速降温炉体.pdf
本发明公开了一种卧式扩散炉快速降温炉体,包括反应石英管和套设于反应石英管外的电阻炉体,反应石英管外壁与所述电阻炉体内壁之间具有横截面为环形的柱状间隙,柱状间隙的两端均设有密封件以使所述柱状间隙形成封闭的通风通道,电阻炉体上设有向所述通风通道送风的进风口和将所述通风通道内的热风排出的出风口。本发明具有可快速降温功能并可以减少温度波动对半导体制件影响的优点。
工业反应炉降温段炉体.pdf
本发明公开了一种工业反应炉降温段炉体,包括带冷却腔的外炉体,冷却腔内设置有冷却炉体,冷却炉体的顶部通过上通管穿过外炉体与外部连通,冷却炉体的底部通过下通管穿过外炉体与外部连通;外炉体的顶部外侧壁上设置有第一电机,冷却腔内设置有由第一电机驱动的第一旋转杆,第一旋转杆靠近冷却炉体设置,第一旋转杆上依次等间距设置有斜向下延伸的第一固定杆,第一固定杆的杆头铰接有竖向摆动的第一散流叶片,第一固定杆、第一旋转杆上设置有依次连通的散流槽,散流槽上安装有外接冷却液的引流管。冷却液经引流管流进冷却腔内时,部分冷却液会由下及
一种应用炉体马靴快速定位安装炉体的方法.pdf
本发明公开了一种应用炉体马靴快速定位安装炉体的方法,步骤:根据炉壳支撑腿的尺寸确定炉体马靴的尺寸并制作炉体马靴,炉体马靴包括马靴底板和马靴筒,马靴筒为方筒状结构,其一端与马靴底板固定且该端被马靴底板封闭,马靴筒的一侧壁上设有螺孔且螺孔处固定有微调螺丝;炉体落位至距离大梁一定距离时将炉体马靴套在炉壳支撑腿上;粗调整炉体尺寸;通过调整炉体马靴上的微调螺丝进行定位微调使得炉体与中心线对齐;调整炉体标高;复核炉体的中心线与炉体的标高尺寸,复核无误后将炉体马靴与炉壳支撑腿焊接固定;围绕炉体马靴焊接固定用挡块,并将固