真空腔体用自旋转装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103807119103807119A(43)申请公布日2014.05.21(21)申请号201210451613.8(22)申请日2012.11.13(71)申请人昆山光微电子有限公司地址215300江苏省苏州市昆山市周庄镇大桥路145号(72)发明人卢狄克焦斌斌李志刚尚海平孔延梅(74)专利代理机构昆山四方专利事务所32212代理人盛建德(51)Int.Cl.F03G1/02(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书3页说明书3页附图1页附图1页(54)发明名称真空腔体用自旋转装置(57)摘要本发明公开了一种真空腔体用自旋转装置，包括旋转托盘、壳体和设于所述壳体内的螺旋状发条、内外斜齿齿轮、定向旋转叉和转动轴，内外斜齿齿轮为环形轮，该环形轮的内、外侧面上分别设有内、外斜齿，该内、外斜齿的倾斜方向相反；转动轴上端固定于旋转托盘上，转动轴下端依次穿过内外斜齿齿轮、发条和外壳；定向旋转叉包括若干个止档部，该定向旋转叉的中心固定于转动轴上，该若干个止档部的末端分别抵靠内斜齿；螺旋状发条的内端固定于转动轴上，外端固定于壳体上；在壳体内侧面上设有若干个棘爪，该若干个棘爪的末端抵靠外斜齿。该真空腔体用自旋转装置，其不仅结构简单，而且能满足转动顺畅和转动时的气密性要求。CN103807119ACN103879ACN103807119A权利要求书1/1页1.一种真空腔体用自旋转装置，其特征在于：包括旋转托盘（1）、壳体(2)和设于所述壳体内的螺旋状发条(3)、内外斜齿齿轮（4）、定向旋转叉（5）和转动轴（6），所述内外斜齿齿轮为环形轮，该环形轮的内侧面沿其周向依次设有朝向同一方向的若干个内斜齿（41），该环形轮的外侧面上沿其周向依次设有朝向同一方向的若干个外斜齿（42），且该环形轮的内斜齿和外斜齿的倾斜方向相反；所述转动轴上端固定于所述旋转托盘上，所述转动轴下端依次穿过所述内外斜齿齿轮、发条和外壳；所述定向旋转叉包括若干个止档部（51），该定向旋转叉的中心固定于所述转动轴上，该定向旋转叉的若干个止档部的末端分别抵靠所述内外斜齿齿轮的内斜齿上使所述内外斜齿齿轮仅能相对该定向旋转叉朝与所述内斜齿倾斜方向相同的方向旋转而朝另一个相反的方向止转；所述螺旋状发条的内端固定于所述转动轴上，所述螺旋状发条的外端固定于所述壳体上；在所述壳体内侧面上设有若干个棘爪（7），该若干个棘爪的末端抵靠所述内外斜齿齿轮的外斜齿使该内外斜齿齿轮仅能相对所述棘爪朝向与所述外斜齿的倾斜方向相同的方向旋转而朝向另一个相反的方向止转。2.根据权利要求1所述的真空腔体用自旋转装置，其特征在于：在所述转动轴上还固设一置物托盘（8），该置物托盘位于所述定向旋转叉和旋转托盘之间。3.根据权利要求1或2所述的真空腔体用自旋转装置，其特征在于：所述定向旋转叉上的止档部为三个，且该三个止档部均布于该定向旋转叉上。4.根据权利要求1或2所述的真空腔体用自旋转装置，其特征在于：所述壳体呈一端开口的圆柱形。5.根据权利要求4所述的真空腔体用自旋转装置，其特征在于：所述棘爪为三个，该三个棘爪均布于所述壳体的内侧面上。6.一种采用权利要求1至5中任一项所述的真空腔体用自旋转装置带动物体旋转的方法。2CN103807119A说明书1/3页真空腔体用自旋转装置技术领域[0001]本发明属于真空设备领域，涉及一种用于有毒、有害、有腐蚀性气体密闭腔体内部可自旋转的装置，具体的说是一种真空腔体用自旋转装置。背景技术[0002]真空腔体中一般都需要配置旋转装置，尤其是在半导体、微电子真空设备中，就要兼顾工艺中对均匀性和真空腔体的密闭性的高要求，现有设备的旋转装置都是由转动电机带动传动轴方式给真空腔体内部提供旋转动力源。此种方法对转动轴和真空腔体之间的转动密封要求很高，既要转动顺畅又要保证转动时的密封性，而且要防止长时间的转动后密封处的防磨损。[0003]用电机带动转动轴的传动装置中密封的方法一般有两种：[0004]①密封圈（O-ring）密封：在转动轴与真空腔体衔接处上加入密封圈。优点是价格便宜，维修、更换简单。但密封圈易磨损、密封性差、稳定性差、防腐蚀性差，多用于真空度要求不高的设备。[0005]②磁流体密封：磁流体密封技术是在磁性流体的基础上发展而来的，当磁流体注入磁场的间隙时，它可以充满整个间隙，形成一种“液体的O型密封圈”。磁流体密封装置的功能是把旋转运动传递到密封容器内，常用于真空密封。优点是密封效果好、稳定、多由于真空度要求高的设备。但磁流体密封装置价格昂贵，结构复杂且更换安装繁琐。发明内容[0006]为了克服上述缺陷，本发明提供了一种真空腔体用自旋转装置，其不仅结构简单，而且能满足转动顺畅和