轮廓形状表面粗糙度测定装置以及轮廓形状表面粗糙度测定方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN104040288104040288A(43)申请公布日2014.09.10(21)申请号201280066017.6代理人许海兰(22)申请日2012.12.10(51)Int.Cl.G01B21/20(2006.01)(30)优先权数据2012-0000692012.01.04JPG01B5/20(2006.01)2012-1535172012.07.09JPG01B5/28(2006.01)G01B21/30(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2014.07.03(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2012/0819722012.12.10(87)PCT国际申请的公布数据WO2013/103070JA2013.07.11(71)申请人株式会社东京精密地址日本东京(72)发明人山内康弘藤田隆(74)专利代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038权权利要求书1页利要求书1页说明书15页说明书15页附图14页附图14页(54)发明名称轮廓形状表面粗糙度测定装置以及轮廓形状表面粗糙度测定方法(57)摘要本发明公开一种轮廓形状表面粗糙度测定装置，其测定工件(W)的表面的轮廓形状和表面粗糙度，结构简单而能够低成本地实现，高分辨率地生成对宽测定范围具有高线性的变位信号。该轮廓形状表面粗糙度测定装置具备：测定部(13)，其具有与工件(W)的表面接触而上下变位的测定元件(7)；进给机构(4)，其使工件相对于测定元件而相对地移动；臂(12)，其一端具有测定部，传递测定元件的变位，以支点(16)为中心转动；差动变压器型检测机构(51)和标尺型检测机构(52)，其安装在臂或与臂联动的位置，检测测定元件的变位。CN104040288ACN10428ACN104040288A权利要求书1/1页1.一种轮廓形状表面粗糙度测定装置，测定工件的表面的轮廓形状和表面粗糙度，该轮廓形状表面粗糙度测定装置的特征在于具备：测定部，具有与上述工件的表面接触而上下变位的测定元件；进给机构，使上述工件相对于上述测定元件相对地移动；臂，一端具有上述测定部，传递上述测定元件的变位，以支点为中心转动；以及差动变压器型检测机构和标尺型检测机构，安装在上述臂或与上述臂联动的位置，检测上述测定元件的变位。2.根据权利要求1所述的轮廓形状表面粗糙度测定装置，其特征在于：上述差动变压器型检测机构在使上述工件相对于上述测定元件相对地移动时，检测与作为上述工件的表面的粗糙度的微小变位对应的高频成分，上述标尺型检测机构在使上述工件相对于上述测定元件相对地移动时，检测与上述工件的表面的起伏对应的低频成分。3.根据权利要求1所述的轮廓形状表面粗糙度测定装置，其特征在于：上述标尺型检测机构具有圆弧状的标尺。4.根据权利要求1所述的轮廓形状表面粗糙度测定装置，其特征在于具备：选择部，选择地输出上述差动变压器型检测机构的检测信号和上述标尺型检测机构的检测信号的一方。5.根据权利要求1所述的轮廓形状表面粗糙度测定装置，其特征在于具备：修正部，组合上述差动变压器型检测机构的检测信号和上述标尺型检测机构的检测信号，生成修正变位信号。6.根据权利要求5所述的轮廓形状表面粗糙度测定装置，其特征在于：上述修正部基于上述标尺型检测机构的检测信号，修正上述差动变压器型检测机构的检测信号的宽范围的线性。7.一种轮廓形状表面粗糙度测定方法，检测工件的表面的轮廓形状和表面粗糙度，该轮廓形状表面粗糙度测定方法的特征在于：在以支点为中心转动的臂的一端具有与上述工件的表面接触而上下变位的测定元件，具有安装在与上述臂联动的位置而检测上述测定元件的变位作为上述臂的变位的差动变压器型检测机构和标尺型检测机构的双方，在使上述测定元件与上述工件的表面抵接的状态下，使上述工件相对地移动，根据上述差动变压器型检测机构和上述标尺型检测机构的检测结果，测定上述工件的轮廓表面粗糙度。2CN104040288A说明书1/15页轮廓形状表面粗糙度测定装置以及轮廓形状表面粗糙度测定方法技术领域[0001]本发明涉及一种轮廓形状表面粗糙度测定装置以及轮廓形状表面粗糙度测定方法。背景技术[0002]测定被测定物(工件)的表面粗糙度的表面粗糙度测定装置、以及测定工件的表面形状(轮廓)的轮廓形状测定装置正在被广泛使用。表面粗糙度测定装置检测工件表面的微小的凹凸，检测工件表面的微小长度的高度变化、即短周期的高度变化。对此，轮廓形状测定装置检测工件表面的比较长周期的高度变化。换言之，可以说对于表面粗糙度测定装置以及轮廓形状测定装置所检测的探针的变位的细致度、即检测在使检测部以一定速度相对于工件进行相对移动时得到的检测信号的长度所