研磨垫修整器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN104097145104097145A(43)申请公布日2014.10.15(21)申请号201310113130.1(22)申请日2013.04.02(71)申请人盛美半导体设备(上海)有限公司地址201203上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号4幢(72)发明人王坚杨贵璞王晖(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人陆嘉(51)Int.Cl.B24B53/017(2012.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图3页附图3页(54)发明名称研磨垫修整器(57)摘要本发明公开了一种研磨垫修整器，包括：驱动电机、驱动器、主动轮、皮带、从动轮、修整头及检测装置，其中，驱动电机的输出轴与主动轮相连接，驱动电机带动主动轮转动，驱动器与驱动电机相连接，驱动器控制驱动电机的启动和关闭，主动轮通过皮带带动从动轮绕从动轮的定子转动，修整头安装在从动轮上并由从动轮带动转动，检测装置检测皮带是否断裂。本发明通过设置检测装置，在对研磨垫进行修整的过程中，能够检测皮带是否断裂，从而判断修整头是否在对研磨垫进行修整，提高了研磨垫的研磨性能和使用寿命，保证了晶圆平坦化良率。CN104097145ACN104975ACN104097145A权利要求书1/1页1.一种研磨垫修整器，其特征在于，包括：驱动电机、驱动器、主动轮、皮带、从动轮、修整头及检测装置；所述驱动电机的输出轴与主动轮相连接，驱动电机带动主动轮转动，所述驱动器与驱动电机相连接，驱动器控制驱动电机的启动和关闭，所述主动轮通过皮带带动从动轮绕从动轮的定子转动，所述修整头安装在从动轮上并由从动轮带动转动，所述检测装置检测皮带是否断裂。2.根据权利要求1所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述检测装置包括接近传感器、检测体及控制器；所述接近传感器安装在从动轮的定子上，接近传感器与控制器相连接，所述检测体安装在从动轮上，检测体随从动轮转动，所述从动轮每转一周，接近传感器检测到检测体一次并将检测信息发送至控制器，如果单位时间内所述接近传感器检测不到检测体或检测到检测体的次数超过从动轮转动的周数，则认为皮带断裂，控制器输出报警信号，驱动电机关闭。3.根据权利要求1所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述检测装置包括接近传感器、检测体及控制器；所述接近传感器安装在从动轮上，接近传感器随从动轮转动，接近传感器与控制器相连接，所述检测体安装在从动轮的定子上，所述从动轮每转一周，接近传感器检测到检测体一次并将检测信息发送至控制器，如果单位时间内所述接近传感器检测不到检测体或检测到检测体的次数超过从动轮转动的周数，则认为皮带断裂，控制器输出报警信号，驱动电机关闭。4.根据权利要求1所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述检测装置包括一对光电式传感器、阻挡体及控制器；所述一对光电式传感器具有发射传感器和接收传感器，所述发射传感器安装在主动轮与从动轮之间，发射传感器发射光信号，所述接收传感器安装在从动轮的定子上，接收传感器与控制器相连接，接收传感器接收光信号并将接收信息发送至控制器，所述阻挡体安装在从动轮上，阻挡体随从动轮转动，所述阻挡体转动至发射传感器与接收传感器之间时，阻挡体阻挡接收传感器接收光信号，从动轮每转一周，接收传感器有一次无法接收发射传感器发出的光信号，如果单位时间内接收传感器一直能够接收发射传感器发出的光信号，或者一直无法接收发射传感器发出的光信号，则认为皮带断裂，控制器输出报警信号，驱动电机关闭。5.根据权利要求1所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述检测装置包括一对光电式传感器、阻挡体及控制器；所述一对光电式传感器具有发射传感器和接收传感器，所述发射传感器安装在从动轮的定子上，发射传感器发射光信号，所述接收传感器安装在主动轮与从动轮之间，接收传感器与控制器相连接，接收传感器接收光信号并将接收信息发送至控制器，所述阻挡体安装在从动轮上，阻挡体随从动轮转动，所述阻挡体转动至发射传感器与接收传感器之间时，阻挡体阻挡接收传感器接收光信号，从动轮每转一周，接收传感器有一次无法接收发射传感器发出的光信号，如果单位时间内接收传感器一直能够接收发射传感器发出的光信号，或者一直无法接收发射传感器发出的光信号，则认为皮带断裂，控制器输出报警信号，驱动电机关闭。2CN104097145A说明书1/4页研磨垫修整器技术领域[0001]本发明涉及化学机械研磨装置技术领域，尤其涉及一种用于修整研磨垫的修整器。背景技术[0002]化学机械研磨技术广泛应用于半导体器件的生产过程中，用于对晶圆进行全局平坦化。化学机械研磨是将晶圆由旋转的研磨头夹持，然后向研磨头施加向下的压力，使晶圆压在与其同方向旋转的研