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化学机械研磨抛光垫修整器及其制造方法.pdf
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化学机械研磨抛光垫修整器及其制造方法.pdf
本发明提供一种化学机械研磨抛光垫修整器及其制造方法，化学机械研磨抛光垫修整器包含一底部基板：一中间层，设置在该底部基板上，该中间层包括一中空部以及一围绕该中空部的环状部，该环状部具有多个凸块；以及一钻石膜，设置在该中间层上，并对应该中间层的该凸块而形成多个研磨凸起；其中，该研磨凸起的一顶面具有一图案化结构，且该顶面具有一介于2至20之间的中心线平均粗糙度(Ra)。
2023-08-30
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化学机械研磨修整器及其制造方法.pdf
一种化学机械研磨修整器及其制造方法，该化学机械研磨修整器包括一基板以及至少一研磨单元，该研磨单元设置于该基板上，该研磨单元分别包括一支撑层、一研磨层以及一应力抵销层，该支撑层具有一远离该基板的工作面以及一与该工作面相对的非工作面，该研磨层设置于该支撑层的该工作面，且该研磨层是利用化学气相沉积法所形成的一第一钻石镀膜，该第一钻石镀膜具有多个研磨尖端，该应力抵销层设置于该支撑层的该非工作面，该应力抵销层是利用化学气相沉积法所形成的一第二钻石镀膜。该应力抵销层可发挥抵销热应力的效果，减少该支撑层的翘曲或变形。
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一种研磨抛光垫的修整器及其修整方法.pdf
本发明公开了一种研磨抛光垫的修整器和修整方法，该修整器包括至少一个修整轮，所述修整轮由驱动装置驱动旋转，通过所述修整轮的修整面对待修整的研磨抛光垫进行修整，所述修整轮的修整面上设置有至少一个金刚石修整区域和至少一个毛刷区域。本发明可以克服因脱落的金刚石颗粒残留于抛光垫的表面而造成产品表面的刮伤等问题，提高被修整产品的良率。
2023-08-31
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一种化学机械研磨修整器及其制造方法.pdf
本发明公开了一种化学机械研磨修整器及其制造方法，化学机械研磨修整器包含一底部基板、一中间基板以及一钻石膜，该中间基板设置在该底部基板上，该中间基板包括一中空部、一围绕该中空部的环形部以及至少一远离该底部基板而自该环形部凸出的凸出环，该凸出环包括沿一环带区域相隔排列的多个凸块，该凸块沿该中间基板的一径向延伸，该钻石膜设置在该中间基板上，该钻石膜顺应该凸块形成多个研磨凸起。
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研磨垫修整器.pdf
本发明公开了一种研磨垫修整器，包括：驱动电机、驱动器、主动轮、皮带、从动轮、修整头及检测装置，其中，驱动电机的输出轴与主动轮相连接，驱动电机带动主动轮转动，驱动器与驱动电机相连接，驱动器控制驱动电机的启动和关闭，主动轮通过皮带带动从动轮绕从动轮的定子转动，修整头安装在从动轮上并由从动轮带动转动，检测装置检测皮带是否断裂。本发明通过设置检测装置，在对研磨垫进行修整的过程中，能够检测皮带是否断裂，从而判断修整头是否在对研磨垫进行修整，提高了研磨垫的研磨性能和使用寿命，保证了晶圆平坦化良率。
2023-10-14
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