致动器和具备该致动器的精密机械.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN104246248104246248A(43)申请公布日2014.12.24(21)申请号201380002394.8F16H19/02(2006.01)(22)申请日2013.12.11(30)优先权数据2013-0420872013.03.04JP(85)PCT国际申请进入国家阶段日2014.01.24(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2013/0072972013.12.11(87)PCT国际申请的公布数据WO2014/136165JA2014.09.12(71)申请人日本精工株式会社地址日本东京都(72)发明人佐藤俊德(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人李辉蔡丽娜(51)Int.Cl.F16C29/06(2006.01)F16C32/06(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图3页附图3页(54)发明名称致动器和具备该致动器的精密机械(57)摘要该发明的致动器具有驱动带（1）、引导轨道（2）、滑动体（3）和直线引导装置（4）。该致动器在以下状态下使用：直线引导装置（4）的轴承被固定在引导轨道（2）的长度方向一端即驱动带轮（52）侧的端部，基座（7）被固定于直线引导装置（4）的导轨。CN104246248ACN104268ACN104246248A权利要求书1/1页1.一种致动器，其具有：驱动带，其绕挂于驱动带轮和从动带轮之间；引导轨道，其与所述驱动带并列配置；滑动体，其具有静压垫，在所述静压垫和所述引导轨道之间形成静压空气轴承，所述滑动体借助所述驱动带的驱动而沿所述引导轨道往复运动；以及直线引导装置，其具有轴承、导轨和滚动体，所述致动器在以下状态下使用：所述轴承被固定在所述引导轨道的长度方向一端即所述驱动带轮侧的端部，所述导轨被固定于基座。2.根据权利要求1所述的致动器，其中，所述引导轨道为陶瓷制成或钢铁制成，所述基座为石材制成、钢铁制成或铝合金制成。3.根据权利要求1所述的致动器，其中，所述引导轨道的长度方向一端固定于驱动侧固定板上，所述驱动带轮的壳体固定于该驱动侧固定板，所述引导轨道的长度方向另一端固定于从动侧固定板上，所述从动带轮的壳体固定于该从动侧固定板，所述从动侧固定板直接固定于所述基座，所述驱动侧固定板经由所述直线引导装置固定于所述基座。4.根据权利要求3所述的致动器，其中，所述从动侧固定板固定于凸部，所述凸部形成得比所述基座的基线高。5.一种精密机械，其具备权利要求1～4中的任一项所述的致动器作为直线引导致动器。2CN104246248A说明书1/4页致动器和具备该致动器的精密机械技术领域[0001]该发明涉及致动器，所述致动器具备借助带驱动而沿引导轨道往复运动的滑动体。背景技术[0002]过去，在高精度的制造装置、检查装置、搬送装置等中使用致动器，该致动器的滑动体借助基于旋转电机的带驱动而沿引导轨道往复运动。构成该致动器的滑动体具备针对引导轨道的轴承。驱动带绕挂于驱动带轮和从动带轮之间。作为这样的致动器的现有例，列举有专利文献1和专利文献2中记载结构。[0003]记载于专利文献1和专利文献2的致动器具有沿各自的引导轨道移动的主轴承（固定搭载物的滑动体）和副轴承（滑动体）。这些轴承具有静压垫，在所述静压垫和各引导轨道之间形成静压空气轴承。[0004]这样的致动器通常在以下状态下使用：引导轨道的长度方向一端利用螺栓被固定于基座的驱动带轮侧，另一端利用螺栓被固定于从动带轮侧。[0005]由此，当由于引导轨道与基座的材质不同而热膨胀系数的差较大时，由于温度变化导致在引导轨道和基座之间产生伸缩差。而且，即便引导轨道与基座的材质相同，当两者产生温度差时也会产生伸缩差。并且，若在引导轨道和基座之间产生伸缩差，则会在引导轨道产生形变，因此，需要实施防止该情况的对策。[0006]在专利文献3中，作为其对策记载了下述内容：在用于安装直线引导装置的轨道的底座（基座）设置插入轨道的底部的槽，将轨道的底部插入该槽中，并且，设置按压部件，该按压部件将轨道的至少一侧面向槽内侧面按压。[0007]现有技术文献[0008]专利文献[0009]专利文献1：日本特开2001-248703号公报[0010]专利文献2：日本特开2008-101642号公报[0011]专利文献3：日本特开2002-349564号公报发明内容[0012]发明要解决的课题[0013]但是，在记载于专利文献3的对策中，直线引导装置的运动精度依赖于设置在基座的槽的底面以及侧面的面精度，从而滑动体的直行精度（直线度）有可能降低。因此，不仅是基座的槽的底面以及侧面，而且与这些面接触的轨道的面也需要高精度地进行