刻划轮及其制造方法.pdf
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刻划轮及其制造方法、以及刻划方法.pdf
一种刻划轮及其制造方法、以及刻划方法,本发明是有关于一种刻划轮及其制造方法与刻划方法、保持具单元、刻划装置,提供一种在使用刃仅由钻石构成的刻划轮,进行较玻璃基板硬质的陶瓷基板等的分断时,寿命更长的刻划轮、保持具单元、刻划装置、刻划轮的制造方法及刻划方法。本发明借由刃(42)仅由钻石构成、刃前缘(43)施有半径0.8~5微米的R角加工的刻划轮(40)的使用,与未经R角加工的刻划轮相比,可大幅减少刃前缘缺口的形成,延长刻划轮的寿命。
刻划轮及其制造方法.pdf
本发明是关于一种刻划轮及其制造方法,能够使刻划并分断脆性材料基板时的基板的端面强度提高。将刻划轮的圆周研磨成V字状并在研磨面形成钻石膜。接着,以包含V字状的前端的棱线的带状部分成为顶角(α2)的方式藉由粗研磨形成研磨面(15)。进一步地对研磨面(15)之中包含棱线的带状部分进行精加工研磨,形成顶角(α3)的研磨面(16)。而且将从棱线至粗研磨与精加工研磨的边界的研磨宽度(w)设为20μm以上。据此能够使刃前端的棱线与倾斜面的凹凸减少,且能够使经刻划的脆性材料基板的端面强度提高。
刻划轮及其制造方法.pdf
本发明是关于一种刻划轮的制造方法,其包括以下步骤:于圆板状的刻划轮基材的圆周部分形成V字形的刀前端,于刀前端借由CVD法形成掺杂有导电性杂质的钻石膜。之后于形成有钻石膜的刻划轮与磨石之间供给电源。借此可检测出成为研磨的基准的零点。然后将钻石膜的棱线部分研磨成与棱线平行、将前端整形以变锐利。由于钻石膜具有导电性,因此能够容易地进行研磨或沟槽加工。本发明还提供一种刻划轮。借由本发明,在表面形成有钻石膜的刻划轮中,使刻划轮的研磨或沟槽加工变容易。
刻划轮及其制造方法.pdf
本发明是一种刻划轮及其制造方法。本发明的课题在于,针对沿圆板状轮的圆周形成有V字形的刃尖的刻划轮,提高经刻划并切断的脆性材料基板的端面强度。通过粗研磨使刻划轮的圆周形成为V字状而制成研磨面(13),接着以使前端部分成为所需的顶角(α2)的方式进行精研磨而形成研磨面(16)。进而对研磨面(16)进行超精研磨而形成研磨面(17)。这样,可减少刃尖脊线的凹凸,且可提高刻划时脆性材料基板的端面强度。
刻划轮及其制造方法.pdf
本发明是有关于一种刻划轮及其制造方法,提供一种在使用刃仅由钻石构成的刻划轮,进行较玻璃基板硬质的陶瓷基板等的分断时,寿命更长的刻划轮、保持具单元、刻划装置、刻划轮的制造方法及刻划方法。本发明借由刃(42)仅由钻石构成、刃前缘(43)施有半径0.8~5微米的R角加工的刻划轮(40)的使用,与未经R角加工的刻划轮相比,可大幅减少刃前缘缺口的形成,延长刻划轮的寿命。