

一种提取GaN功率HEMT器件热阻抗的方法.docx
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一种提取GaN功率HEMT器件热阻抗的方法Title:AMethodforExtractingGaNPowerHEMTDeviceThermalImpedanceAbstract:Inrecentyears,GalliumNitride(GaN)HighElectronMobilityTransistor(HEMT)deviceshavegainedsignificantattentioninpowerelectronicsduetotheirsuperiorelectricalandthermalpro
GaN HEMT射频功率器件热分析与热设计的开题报告.docx
GaNHEMT射频功率器件热分析与热设计的开题报告一、选题背景射频功率器件是无线通信领域重要的设备之一,它可以将低功率的信号转换为高功率的信号,使信号能够远距离传输。射频功率器件的性能对于整个通信系统的性能有着决定性的影响。GaNHEMT(GalliumNitrideHighElectronMobilityTransistor)射频功率器件具有低损耗、高加工精度和高工作频率等优点,在军事通信、雷达等领域有广泛的应用。然而,高功率射频功率器件在工作过程中会产生大量的热量,若不能得到及时的散热,将会对设备的稳
一种纵向GaN HEMT功率器件.pdf
本发明属于功率半导体技术领域,具体为一种纵向结构的GaNHEMT功率器件,包括AlN成核层、重掺杂AlGaN或GaN缓冲层、轻掺杂GaN沟道层、AlGaN势垒层、肖特基接触栅极、Mg掺杂的P‑GaN盖帽层、金属化漏极、GaN电流沉降层、SiO
一种GaN HEMT器件的制备方法.pdf
本发明实施例公开了一种GaNHEMT器件的制备方法,包括提供外延基底,外延基底包括衬底以及在衬底上依次层叠设置的沟道层以及势垒层;采用氧化刻蚀工艺图形化势垒层,形成源极欧姆接触凹槽和漏极欧姆接触凹槽;在源极欧姆接触凹槽内形成源极欧姆接触电极,同时在漏极欧姆接触凹槽内形成漏极欧姆接触电极;在势垒层、源极欧姆接触电极以及漏极欧姆接触电极背离衬底一侧形成图形化的钝化层,在钝化层背离外延基底的一侧形成源极、漏极、栅极开孔并沉积金属电极,金属电极包括源极金属电极、漏极金属电极和栅极金属电极。该方法能够精确控制刻蚀深
一种实现CASCODE模式的GaN HEMT功率器件.pdf
本发明公开了一种实现CASCODE模式的GaNHEMT功率器件,属于半导体技术领域,器件包括从下至上依次连接的第三衬底、第二中间层、缓冲层、GaN层和AlGaN层;AlGaN层上设置有源极、漏极和栅极,其中,源极、漏极均延伸连接至所述GaN层中;GaN层中设置有空腔,所述空腔的下端延伸至缓冲层中,空腔的上端位于源极和漏极的沟道下方,所述AlGaN层上连接有一个增强型硅MOSFET器件,其中,所述增强型硅MOSFET器件的源极和栅极做整个器件的源极和栅极,GaNHEMT功率器件作为整个器件的漏极。本发明