微细与特种加工技术.pptx
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微细与特种加工技术ppt课件.ppt
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微细与特种加工技巧3.ppt
目前微纳米中心拥有是实验室面积5800m2,超净间600m2,仪器设备价值近2000余万元。直接从事微结构与微系统的设计、制造、检测等方面研究的工作人员40人,其中90%为中青年研究人员和博士学位获得者。2006年建立了微系统与微结构制造教育部重点实验室2007年建设了国防科工委“精密与微纳制造”国防紧缺学科2007年建设了国防科技工业超精密机械加工技术研究应用中心微纳米先进测试与基础研究平台微纳米制造工艺与装备研究平台微结构与微系统设计及集成技术平台微纳米技术研究高水平人才培养基地特色研究方向:微结构的
小型双功能特种微细加工机床.pdf
本发明涉及一种小型双功能特种微细加工机床,包括床身、立柱、X轴运动组件、Y轴运动组件、Z轴运动组件、B轴、支座、C轴、夹具、电极、电极丝、定丝轮组、动丝轮组和工作液箱体,特征是:Y轴运动组件与工作液箱体均固定安装于床身上,且Y轴运动组件从工作液箱体底部沿Y轴方向间隙穿过;动丝轮组安装到Y轴运动组件的移动滑台上,包括对称安装的2套动丝轮结构,定丝轮组也包括对称安装的2套定丝轮结构;电极丝依次绕过一套定丝轮结构和一套动丝轮结构中的滑轮后,经该套动丝轮结构中的眼膜水平穿入另一套动丝轮结构中的眼膜,再依次绕过该套
微细与超微细加工技术.pptx
会计学电磁驱动装置(直线电机)工作原理电极线沿着导丝器中的槽以5~10mm/min的低速滑动,可加工圆柱形的轴。如导丝器通过数字控制作相应的运动,还可加工出各种形状的杆件。要求:定位精度0.1μm,重复定位精度0.01μm导轨:硬质合金滚动体导轨,或液(气)静压导轨工作台:粗动—伺服电机+滚珠丝杠微动—压电晶体电致伸缩机构利用氩(Ar)离子或其它带有10keV数量级动能的惰性气体离子,在电场中加速,以极高速度“轰击”工件表面,进行“溅射”加工。◎离子束溅射去除加工可用于非球面透镜成形(需要5坐标运动),金