微细与特种加工技术ppt课件.ppt

微机械产品微小型机械的常用微细加工方法及性能比较几种常见微细加工方法的性能比较微型机械的发展带GPS的微型直升机
（StanfordMLB1995）14英寸微型飞机(UniversityofFlorida,1998)集成了17个传感器的机器蚂蚁（MIT）微型燃气轮机工作原理微小型系统的实用化离不开微细结构的制造技术
微细结构的制造方法包括硅基微制造和非硅精密微制造技术
常规与大型系统中也有一些零件整体尺寸虽不微小，但局部具有微细结构
微传感器、引信、微喷嘴等迫切需要提高稳定性和量产。
微细结构加工技术是新世纪提升国家能力的关键技术之一，发达国家极为重视。
系统的微型化不单是指电子系统的微型化，如果相关的非电子系统小不下来，整个系统将难以达到微型化的目标。
电子系统可以通过采用微电子技术达到系统微型化的目标；而对于非电子系统来说，尽管人们已做了很大努力，其微型化程度远远落后于电子系统，这已成为整个系统微型化进一步发展的“瓶颈”，迫切需要突破。1）硅基微小型结构与微系统日本于1996年开发了世界上第一台微型车床。2000年又制作了便携式微型工厂。金沢大学米山猛等人研制了一台微型车削系统样机。
德国阿亨工业大学、卡尔斯鲁大学开展了对淬火钢和硬铝材料的微型器件的铣销工艺技术的系统研究。
FANUC公司开发出了气体静压式的1ｎｍ分辨率的五轴联动微小型超精密加工中心，其进给方向直线度为0.3μｍ/200ｍｍ。3）微细特种加工技术4）微塑性成形技术5）微铸造技术6）微检测技术7）微小型结构与系统的数字化集成与仿真技术8）微装配集成技术总结：
目前国内外对微细结构的加工工艺、制造装备、测试手段、组装集成技术等进行了大量的研究工作，并逐步进入工程实用化阶段。
建立针对微细结构制造的研发基地，对各相对独立的方法进行有机集成，构成较为完善的、可以满足不同材料和结构加工的、并具有批生产能力的制造系统的条件已基本成熟。哈工大微细加工基地建设情况简介