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微细与特种加工技巧3.ppt

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目前微纳米中心拥有是实验室面积5800m2,超净间600m2,仪器设备价值近2000余万元。直接从事微结构与微系统的设计、制造、检测等方面研究的工作人员40人，其中90%为中青年研究人员和博士学位获得者。2006年建立了微系统与微结构制造教育部重点实验室 2007年建设了国防科工委“精密与微纳制造”国防紧缺学科 2007年建设了国防科技工业超精密机械加工技术研究应用中心微纳米先进测试与基础研究平台 微纳米制造工艺与装备研究平台 微结构与微系统设计及集成技术平台 微纳米技术研究高水平人才培养基地特色研究方向： 微结构的超精密及纳米加工工艺与装备技术 微细特种加工工艺与装备技术 微塑性成型工艺与装备技术 微铸造成型技术 微检测及微操作与微装配技术 微小型机器人技术 微型传感器及MEMS集成技术根据本领域目前国内外的科学研究现状和发展趋势，结合国家现有学科布局的特点，围绕我国制造业中长期发展规划中的优先发展主题，以国防工业和国民经济相关领域对微结构与微系统的需求为牵引，面向国民经济主战场，充分发挥哈工大相关学科的研究实力、优势与特色，形成了以非硅微纳制造工艺与装备为主线的鲜明研究特色。3）微塑性成形技术哈尔滨工业大学在MEMS和微纳米制造，尤其是非硅微结构制造等方面，已经形成了从设计仿真、器件与模具微制造到低成本批量制造和系统装配与集成的整体配套制造能力。哈工大承担的微细加工课题及取得的主要成果特种加工的产生及发展对机械制造提出的要求传统加工的本质和特点特种加工的产生电火花加工产生的意义特种加工概念特种加工的本质特种加工的特点我国特种加工的发展特种加工的发展趋势自动化、柔性化 充分利用计算机技术对特种加工设备的控制系统、电源系统进行优化,加大对特种加工的基本原理、加工机理、工艺规律、加工稳定性等深入研究的力度,建立综合工艺参数自适应控制装置、数据库等(如超声、激光等加工),进而建立特种加工的CAD/CAM与FMS系统,使加工设备向自动化、柔性化方向发展,这是当前特种加工技术的主要发展方向。精密化与微细化 高新技术的发展促使高新技术产品向超精密化与小型化方向发展,对产品零件的精度与表面粗糙度提出更严格的要求。为适应这一发展趋势,特种加工的精密化研究已引起人们的高度重视,因此,大力开发用于超精加工的特种加工技术已成为重要的发展方向。