稳定提拉法晶体生长界面的装置和方法研究.docx
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稳定提拉法晶体生长界面的装置和方法研究稳定提拉法晶体生长界面的装置和方法研究摘要:稳定提拉法(SteadyPullingMethod,SPM)是一种常用于生长单晶材料的方法。在该方法中,通过控制引出晶体生长区域成分的浓度、温度和其他物理参数,实现了单晶材料的高纯度生长。然而,该方法的主要挑战之一是如何保持晶体生长界面的稳定,以避免晶体生长中的非均匀性。本文旨在研究稳定提拉法晶体生长界面的装置和方法,以实现晶体生长的均匀性和稳定性。1.引言单晶材料在材料科学和电子工程等领域中起着重要作用。稳定提拉法是一种广
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汇报人:目录PARTONEPARTTWO界面稳定性对晶体质量的影响界面稳定性与晶体生长效率的关系界面稳定性对晶体应用领域的影响PARTTHREE装置的基本结构装置的材料选择装置的加热系统设计装置的控制系统设计PARTFOUR控制晶体生长速度的策略控制熔体流动的策略控制温度梯度的策略控制界面形态的策略PARTFIVE实验材料和设备实验过程和方法实验结果和数据分析结果讨论和改进建议PARTSIX提拉法晶体生长界面的应用领域提拉法晶体生长界面的技术发展趋势提拉法晶体生长界面的未来研究方向THANKYOU
籽晶提拉装置、晶体生长设备和籽晶提拉方法.pdf
本发明公开了一种籽晶提拉装置、晶体生长设备和籽晶提拉方法,籽晶提拉装置包括籽晶提拉件、籽晶旋转升降机构和水冷套,籽晶提拉件包括籽晶轴、籽晶夹持器和保持件,籽晶旋转升降机构、籽晶轴、籽晶夹持器和籽晶沿长晶炉的轴向依次相连,保持件内具有容纳腔,籽晶夹持器部分容纳于容纳腔内且可相对保持件绕籽晶的中心轴线旋转,籽晶旋转升降机构用于驱动籽晶绕自身的中心轴线旋转以及沿长晶炉的轴向移动,保持件与水冷套可沿长晶炉的轴向相对滑动地配合。根据本发明实施例的籽晶提拉装置,可以降低籽晶在炉体中产生震荡的震荡幅度或避免籽晶在炉体中
籽晶提拉装置和晶体生长设备.pdf
本发明公开了一种籽晶提拉装置和晶体生长设备,籽晶提拉装置包括籽晶轴、籽晶夹持器、籽晶旋转升降机构和保持器,籽晶夹持器用于夹持籽晶,籽晶夹持器连接在籽晶轴的下端;籽晶旋转升降机构与籽晶轴的上端相连,用于驱动籽晶绕自身的中心轴线旋转以及沿上下方向移动,籽晶的旋转轴线沿上下方向延伸;保持器位于籽晶轴的外周侧,保持器的上端与炉体相连,保持器的下端与籽晶夹持器相连,保持器在上下方向上的长度可变。根据本发明实施例的籽晶提拉装置,在拉制晶棒的过程中,可以使得籽晶夹持器稳定地上升和旋转,降低籽晶在炉体中产生震荡的震荡幅度
一种用于提拉法晶体生长的对流控制装置和晶体生长炉.pdf
本发明公开了一种用于提拉法晶体生长的对流控制装置,包括对流控制器、风机、输气通道和调压器;所述对流控制器中心为镂空结构,其设置有以对流控制器轴线中心对称的第一进气口和第二进气口;所述风机通过输气通道分别与第一进气口和第二进气口连接;所述调压器与风机电连接。本发明还公开了一种晶体生长炉,包括对流控制装置、保温装置、炉壳、籽晶杆、加热装置和盛装晶体材料的容器,所述对流控制装置的对流控制器设置于炉壳内部的保温装置的上方。相对于现有技术,本发明的对流控制装置能够调整晶体生长炉的保温装置内的自然对流,进而调整保温装