切割用直拉硅芯原料棒工艺特点探讨.docx
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切割用直拉硅芯原料棒工艺特点探讨标题:切割用直拉硅芯原料棒工艺特点探讨摘要:切割用直拉硅芯原料棒是半导体产业中非常重要的材料之一。本文主要探讨了切割用直拉硅芯原料棒的工艺特点,在分析了工艺过程的基础上,重点讨论了原料棒的物理性能、加工过程以及切割效果对最终产品性能和品质的影响。通过对现有工艺的分析和探讨,本文对切割用直拉硅芯原料棒在未来的发展方向进行了展望。一、引言切割用直拉硅芯原料棒是半导体材料中非常重要的一种材料。它广泛应用于半导体制造中,被用于生产各种电子元件,如晶体管、集成电路等。在制造过程中,直
硅芯拉制工艺及硅芯拉制过程中的原料棒预热方法.pdf
本发明公开了一种能够实现原料棒方便、快速的预热,同时又不引入影响硅芯质量的杂质的硅芯拉制工艺。该工艺具体包括如下步骤:a、装炉时在原料棒的上端安置由熔点大于硅的导体材料所制成的导热片;b、拉制前利用电磁感应线圈对该导热片进行加热进而预热原料棒;c、在原料棒的上端熔融前摘掉导热片,待其熔融后再将籽晶从电磁感应线圈的芯孔中向下插入熔体;d、向上提升籽晶从而牵引熔体拉伸并通过电磁感应线圈的芯孔。本发明的有益效果是可以大大缩短硅芯拉制时间,提高效率,且导热片可重复使用,节省成本,此外原料棒表面熔化均匀,硅芯拉制成
超长硅芯切割机床及其切割工艺.pdf
本发明涉及一种超长硅芯切割机床,包括机壳体,机壳体内设置有底座,底座的前段设置有升降机构,底座的后段设置有立柱,立柱的顶端向前设置有固定架,所述固定架的底部设置有向前弯折的L型支架,L型支架的前端设置有夹持装置,所述固定架上悬设有晶座,所述升降机构上设置有切割导轮组件,切割导轮组件的下方设置有分别通过导线轮支架和过渡轮支架安装于机壳体底面的导线轮和过渡轮。本发明通过合理缩短上方的L型支架中竖段的高度、晶座的高度以及下方的导线轮的安装高度,在原有的加工高度空间内节省出额外的40cm加工高度空间,使得在原有设
硅芯、硅棒制备装置及硅棒制备方法.pdf
本发明提供了一种硅芯、硅棒制备装置及硅棒制备方法,涉及多晶硅生产技术领域,该硅芯沿其轴向设有多个间隔设置的凹陷部,凹陷部沿垂直于硅芯的轴向向内形成周向凹陷部。该硅棒制备装置包括还原炉和硅芯,硅芯安装在还原炉内。该硅棒制备方法包括沿硅芯的轴向量取所需长度并设置标记点;在标记点处构建多个凹陷部;将硅芯安装在还原炉内生长,待硅棒生长到一定直径后停炉;取出生长到一定直径的硅棒,通过敲击的方式获得所需尺寸的硅棒。解决了现有技术中存在的硅棒在人工敲砸时容易直接敲成碎块,进而造成浪费的技术问题。
连续直拉单晶棒工艺.pdf
本发明公开了一种能够实现单晶硅棒连续成晶,保证硅棒品质的连续直拉单晶棒工艺。该连续直拉单晶棒工艺采用连续直拉单晶炉,还包括以下步骤:S1、向双层坩埚的内层坩埚筒内添加硅料;S2、通过惰性气体进口通入惰性气体,然后由惰性气体吸气口吸出惰性气体;S3、通过石墨加热托盘、加热电阻实现对双层坩埚的加热;S4、通过拉伸装置对单晶硅棒进行拉伸成形;同时通过所述硅料加料装置向外层坩埚内添加颗粒硅料;S5、保证炉内的压力,保证炉体内的温度;S6、通过拉伸装置实现单晶硅的连续直拉。采用该连续直拉单晶棒工艺能够提高拉晶速度,