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BCD工艺70VLDMOS器件热载流子可靠性研究的任务书 任务书 题目:BCD工艺70VLDMOS器件热载流子可靠性研究 任务介绍: 低电压LDMOS(LowVoltageLaterally-DiffusedMetal-Oxide-Semiconductor)作为一种常用的功率器件,广泛应用于交流和直流集成电路的设计中。然而,在实践中,它们的可靠性问题也受到了越来越多的关注。其中,热载流子效应是其可靠性的主要限制因素之一。因此,本研究旨在深入了解热载流子效应的机理及其对LDMOS器件可靠性的影响,为相关领域的工程应用提供有力的理论支持和技术指导。 任务内容: 1.热载流子效应的理论基础。研究热载流子效应的机理,分析其形成的原因和影响因素,并结合实验数据进行模拟和验证。 2.测试LDMOS器件的热载流子效应。通过热载流子测试仪器对LDMOS器件进行测试,并得到相应的热载流子退化曲线。将数据记录下来进行分析和统计。 3.分析LDMOS器件热载流子的可靠性。根据实验数据,定量评估LDMOS器件的可靠性,并分析热载流子效应对器件寿命的影响。 4.优化LDMOS器件的结构和参数。结合实验分析和理论分析结果,优化LDMOS器件的结构和参数,并开展相关的模拟仿真。 5.撰写成果论文。在完成研究工作的基础上,撰写一篇学术论文,详细介绍研究过程和结果,并提出相应的结论和建议。 任务要求: 1.具有电子工程、物理学或相关专业的本科或研究生学历,扎实的物理学基础和电路设计经验。 2.熟悉半导体器件的制备和测试技术,了解器件物理学和器件模型的建立方法。 3.具有一定的数据分析和理论分析能力,能够独立开展研究工作。 4.具有良好的英语阅读和文献查找能力,能够阅读相关领域的英文文献和理论书籍。 5.具有较强的团队合作精神,能够积极沟通和合作,完成研究任务。 任务进度: 本研究计划进行12个月,按以下进度开展。 第1-2个月:完成文献综述和理论研究,了解热载流子效应的机理和研究现状。 第3-4个月:研究制备LDMOS器件和建立测试系统,开展测试实验。 第5-7个月:分析LDMOS器件热载流子的数据,评估器件的可靠性。 第8-10个月:结合理论模拟和实验数据,对LDMOS器件结构和参数进行优化。 第11-12个月:撰写论文,交流和总结研究成果。 任务成果: 完成本研究任务后,可获得以下成果: 1.了解热载流子效应的机理,及其对LDMOS器件可靠性的影响。 2.了解LDMOS器件制备和测试技术的基本知识,具备相关的实验技能。 3.分析LDMOS器件的热载流子效应和可靠性。 4.优化LDMOS器件结构和参数,提高其可靠性和性能。 5.撰写一篇学术论文,介绍研究成果和相关结论。 参考文献: [1]C.H.Ling,T.M.Chan,andY.M.Huang,“Gateoxidebreakdownmechanisminforwardandreversemodesofoperation,”IEEETransactionsonElectronDevices,vol.63,no.5,pp.1940-1946,2016. [2]L.F.Chen,Y.F.Huang,andL.C.Tien,“ElectricalandreliabilitycharacteristicsoflowtemperatureSiONgatedielectriconsiliconsubstrate,”IEEETransactionsonElectronDevices,vol.62,no.5,pp.1630-1636,2015. [3]K.H.Chang,S.K.Wu,andY.K.Fang,“EffectofpowercyclingonthedcandthermalbehaviorofLDMOSdevices,”IEEETransactionsonElectronDevices,vol.62,no.1,pp.350-357,2015. [4]B.J.Baliga,ModernPowerDevices.BocaRaton:CRCPress,2017. [5]R.D.Schrimpf,“Reliabilityofsiliconpowerdevices:PartI-RCATandtheroleofionizingradiation,”IEEETransactionsonNuclearScience,vol.62,no.4,pp.1579-1590,2015.