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,目录PartOnePartTwo自热效应定义自热效应产生原因自热效应对器件性能的影响PartThree热阻测量方法温度分布测量方法热可靠性评估方法PartFour实验设备与材料实验过程与步骤实验结果与数据分析PartFive器件结构优化材料性能优化制程工艺优化PartSix自热效应研究发展趋势自热效应研究面临的挑战与机遇自热效应研究对未来器件发展的影响THANKS