直流磁控溅射法制备ZnO气敏薄膜及其性能研究的任务书.docx

直流磁控溅射法制备ZnO气敏薄膜及其性能研究的任务书
任务书
一、任务目的：
1.了解直流磁控溅射法制备ZnO气敏薄膜的工艺流程和原理；
2.掌握测量和分析ZnO气敏薄膜的性能和应用；
3.研究不同制备参数对ZnO气敏薄膜性能的影响。
二、任务步骤：
1.理论基础学习：
阅读相关文献，学习直流磁控溅射法制备ZnO气敏薄膜的原理和工艺流程，了解气敏薄膜的应用和性能测试方法。
2.设计实验方案：
根据理论知识，设计实验方案，包括ZnO气敏薄膜制备参数的选择、气敏薄膜性能测量方法的选择等。
3.实验操作：
根据实验方案进行实验，制备ZnO气敏薄膜，并进行性能测试。具体步骤包括：
（1）ZnO薄膜的制备：根据实验方案，选择合适的制备参数，使用直流磁控溅射法制备ZnO气敏薄膜。
（2）ZnO薄膜性能测试：对制备好的ZnO气敏薄膜进行性能测试，包括气敏性能、电学性能等。
（3）数据分析：根据实验结果，分析不同制备参数对气敏薄膜性能的影响，并得出结论。
4.结果分析：
对实验得到的数据进行分析，总结和归纳结果，分析不同制备参数对气敏薄膜性能的影响。在结果分析中需要考虑实验数据的可靠性和误差。
5.实验报告：
根据实验结果，撰写实验报告。报告内容应包括研究背景、实验方案、实验结果和结论等部分。
三、任务要求：
1.技能方面：掌握直流磁控溅射法制备ZnO气敏薄膜的方法和气敏薄膜性能测量的技能。
2.知识方面：了解直流磁控溅射法制备ZnO气敏薄膜的原理和工艺流程，掌握气敏薄膜的应用和性能测试方法。
3.任务时限：本任务需在2周内完成。
4.研究成果：完成实验报告，掌握一定的实验方法和数据分析技能。
5.实验设备：直流磁控溅射设备、气体控制系统、气敏薄膜测试仪等。
四、参考文献：
1.Chen,J.,Sun,X.,Cai,G.,&Chen,G.(2016).HighsensitiveandselectiveNO2gassensorbasedonc-axisorientedZnOnanorodspreparedbyDCreactivemagnetronsputtering.SensorsandActuatorsB:Chemical,228,301-310.
2.Chen,T.J.,Chang,S.J.,Kuo,C.L.,&Huang,J.H.(2008).TheeffectofthicknessonthegassensingpropertiesofZnOthinfilmspreparedbyreactiveRFsputtering.SensorsandActuatorsB:Chemical,134(2),752-758.
3.Ji,L.L.,Li,Y.F.,Ding,Y.L.,Wang,J.T.,Wang,K.Y.,Li,H.,&Wu,M.J.(2012).InvestigationongassensingpropertiesofZnOthinfilmspreparedbyDCreactivemagnetronsputtering.JournalofMaterialsScience:MaterialsinElectronics,23(8),1425-1429.