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聚焦离子束三维螺旋微纳电感研究与分析.pptx
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汇报人：CONTENTSPARTONEPARTTWO微纳电感在电子器件中的重要性当前微纳电感制造技术的挑战聚焦离子束技术的优势与特点PARTTHREE研究目标与主要内容实验材料与设备研究方法与技术路线PARTFOUR聚焦离子束制备三维螺旋微纳电感的工艺流程实验结果展示结果分析与讨论PARTFIVE研究结论创新点与贡献研究不足与展望PARTSIX致谢参考文献汇报人：
2024-10-02
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聚焦离子束三维螺旋微纳电感研究与分析摘要：离子束三维螺旋微纳电感是一种新型的微纳电子器件。该电感的大量应用有助于推动电子技术的发展。本文通过研究分析，展示了离子束三维螺旋微纳电感的结构特点、工作原理、制作工艺等方面的研究成果。在电感参数优化、性能测试、应用探索等方面都有一定的研究成果，为未来的应用提供了重要的参考。关键词：离子束三维螺旋微纳电感；结构特点；工作原理；制作工艺；性能测试一、引言离子束三维螺旋微纳电感是近年来发展起来的一种新型电感，它具有小体积、高稳定性、高Q值等优点，可以满足微小空间内高频率
2024-10-16
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本发明提供一种三维螺旋电感，包括衬底，在衬底的正面结构中，形成有立体螺旋构型的导电线圈；所述导电线圈具有一定厚度，导电线圈的厚度小于衬底的厚度；螺旋构型的导电线圈具有内端头和外端头；所述导电线圈的内端头和外端头分别通过贯穿衬底的导电通孔连接至衬底的背面。可选地，在衬底背面设有与导电通孔下端连接的线圈电连接端。更优地，所述导电线圈位于衬底正面结构的空腔中，导电线圈的走线之间，以及导电线圈外围一圈的衬底材料被去除；导电线圈与空腔底部的衬底保持连接。本发明实现了三维螺旋电感结构，还可以明显地提升电感性能。
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