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提高石英表面聚焦离子束微纳直写精度的方法.pptx

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汇报人：CONTENTS石英表面特性石英材料的物理性质石英表面的化学稳定性石英表面的光学特性聚焦离子束微纳直写技术原理聚焦离子束技术概述微纳直写技术原理离子束与石英表面的相互作用影响微纳直写精度的因素离子束能量分布离子束流密度离子束扫描速度石英表面温度提高微纳直写精度的方法优化离子束能量分布控制离子束流密度优化离子束扫描速度降低石英表面温度实验设计与验证实验设备与材料实验步骤与操作实验结果分析结果验证与讨论结论与展望研究结论总结对未来研究的建议与展望汇报人：