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PLD方法沉积ZnO薄膜及其光电性能研究的中期报告
本研究旨在通过PLD(pulsedlaserdeposition)方法沉积ZnO薄膜，并研究其光电性能。目前已完成实验中期，并取得以下进展：
1.器材准备
本研究所需的PLD实验器材已全部准备就绪，包括激光器、气相靶材等。
2.沉积工艺优化
通过对PLD沉积工艺参数的不断调整和优化，已取得了比较理想的ZnO薄膜沉积效果。目前的最优工艺参数为：激光功率为200mJ，气压为15Pa，衬底温度为室温。
3.薄膜表征
我们采用了多种表征方法对沉积得到的ZnO薄膜进行了分析。其中，X射线衍射表明该薄膜具有良好的晶体结构；原子力显微镜观察到薄膜表面光滑度较高；紫外可见分光光度计的测试结果表明该薄膜具有较好的透光性。
4.光电性能测试
目前我们已完成了对ZnO薄膜的光电性能测试，包括光电响应、光电导率等指标的测量。实验结果表明，该薄膜具有良好的光电性能，可用于太阳能电池等领域的应用。
未来工作计划：
1.探究沉积参数对ZnO薄膜光电性能的影响；
2.进一步优化沉积工艺，提高薄膜质量；
3.拓展更多的薄膜表征方法，全面分析ZnO薄膜的性能；
4.将该薄膜应用于实际领域，并深入研究其应用效果。