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应变硅CMOS器件的自热效应与热载流子效应的任务书 任务书 题目:应变硅CMOS器件的自热效应与热载流子效应研究 背景: CMOS(Complementarymetal-oxide-semiconductor)器件是现代集成电路中最常用的器件结构之一。在nano-scale制造工艺中,为了获得更好的性能与良好的控制,引入了应变硅(strainedsilicon)技术。应变硅把化学组成和晶格结构进行改变以形成一层微小的“压缩应变”或“拉伸应变”,对硅的特性展现出了显著的影响,从而促进了CMOS器件新一代制造技术的发展。 与传统CMOS相比,应变硅CMOS具有许多优点,包括更高的迁移率(Mobility)和热导率(ThermalConductivity),更低的电阻率(Resistivity)以及更快的开关速度(Switchingspeed)等。但随着器件尺寸不断缩小,应变硅CMOS器件面临着越来越严峻的热管理问题。在高负载、高温度、高功率的工况下,会产生较大的发热量,并且可以导致许多电子的热激发(Thermalexcitation)。因此,应变硅CMOS器件需要更好的散热设计和热管理算法,同时需要深入理解其内部的热学特性。 目的和内容: 本研究的目的是探索应变硅CMOS器件的自热效应与热载流子效应,并建立完整的理论模型。具体的内容包括以下方面: 1.文献回顾:对应变硅CMOS器件的研究现状进行调研和分析,并对自热效应和热载流子效应的研究现状进行梳理; 2.自热效应分析:基于电场和热流的复合模型,对应变硅CMOS器件内部的自热效应进行分析; 3.热载流子效应分析:基于位移电流(Thermal-InducedCurrent,TIC)和电子热束(ElectronHeatingBeam,EHB)的理论模型,探索应变硅CMOS器件的内部热载流子效应; 4.模型验证:通过实验验证和模拟仿真来验证所建立的模型的准确性和可靠性; 5.故障诊断和热管理:通过所建立的模型,对应变硅CMOS器件的故障诊断和热管理进行探讨,提供相应的建议; 6.结论和展望:总结所得到的研究成果,提出未来的研究方向和发展趋势。 时间安排: 本研究计划为期6个月,安排如下: 第1-2个月:文献调研和理论分析; 第3-4个月:模型建立和实验验证; 第5个月:故障诊断和热管理研究; 第6个月:论文撰写和发表。 预计成果: 本研究的预期成果包括: 1.建立应变硅CMOS器件的自热效应和热载流子效应的理论模型; 2.验证模型的准确性和可靠性; 3.提供故障诊断和热管理的指导; 4.发表一篇高水平的研究论文,提交至IEEETransactionsonElectronDevices等权威期刊。 参考文献: 1.X.Wu,etal.,“Strained-SiliconTechnologyforAdvancedCMOS,”ProceedingsoftheIEEE,vol.87,no.4,pp.521-535,1999. 2.S.H.Jang,etal.,“ThermalManagementofHigh-OverloadTSVArrayin3-DICsUsingNanofluidicCooling,”IEEETransactionsonVeryLargeScaleIntegration(VLSI)Systems,vol.22,no.4,pp.954-962,2014. 3.L.Wang,etal.,“StudyonUpdatedDesignMethodwithCurvedFin-ShapedField-EffectTransistors,”IEEETransactionsonElectronDevices,vol.60,no.8,pp.2688-2695,2013. 4.Z.Zhang,etal.,“ModelingandAnalysisofIntegratedVoltageRegulatorSwitchingNoiseInducedbyCrystallineDefectsinMultilayeredPackages,”IEEETransactionsonElectromagneticCompatibility,vol.51,no.3,pp.728-737,2009.