内容提供者
一种基于行星流化的粉体原子层沉积装置.pdf
2023-09-16
10金币
2.3MB
12页
高格****gu
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
亲，该文档总共12页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～
相关资料
一种基于行星流化的粉体原子层沉积装置.pdf
本发明公开了一种基于行星流化的粉体原子层沉积装置，包括电机、反应腔、行星架、夹持器和输气管路，其中，电机与行星架相连，行星架上安装有中心轮和若干个行星轮；电机用于带动中心轮和行星轮旋转；夹持器位于反应腔内部，用于承载粉体；该夹持器还与行星轮相连，在行星轮的带动下旋转；输气管路用于向反应腔中输入反应气体或载气。本发明能够对夹持器内的粉体颗粒提供离心流化作用，同时结合轴向的气流流化作用，克服了离心流化床沿轴向方向分布不均匀的状况以及改善了传统垂直流化床剪切力过小的特点，能有效提高粉体包覆率和均匀性，一次性能够
2023-09-16
10
2.3MB
一种等离子体增强原子层沉积流化床粉体处理装置及应用.pdf
本发明提供一种等离子体增强原子层沉积流化床粉体处理装置，优于同类实验装置的配置包括：位于加热炉内部的、竖向直立设置的变径气固流化床体，在石英管中可以满足气流分布均匀使前驱体与粉体充分接触，沉积均匀；等离子体发生器，石英圆管上下两端缠绕的高压电极和地电极，在间隙中能够发生等离子体放电，将设置好参数的等离子体加入到反应过程中，既可以降低整个沉积过程的温度要求，又可以加大前躯体粒子的活性。该装置实现了低温吸附或进行反应，利用等离子体放电中产生的高能物质与前驱体发生化学反应，从而拓展了原子层沉积技术前驱体的选择范
2023-06-15
10
391KB
一种原子层沉积设备和原子层沉积设备的定量输气装置.pdf
本实用新型提供了一种原子层沉积设备和原子层沉积设备的定量输气装置,涉及原子层沉积技术领域。其中,这种定量输气装置,包含用以连通原子层沉积设备的工艺腔室的出气管、分别出气管的至少两个定量进气组件,以及接合于出气管的不定量进气组件。定量进气组件包括定量腔室、用以连通源瓶的第一进气管、用以连通定量腔室和第一出气管的第一阀门,以及用以连通出气管和第一进气管的第二阀门。不定量进气组件包括用以连接气源的第二进气管,以及用以连通出气管和第二进气管的第三阀门。通过定量输气装置,能够有效的控制每次向反应腔室输送的气体的体积
2023-04-24
10
487KB
原子层沉积装置.pdf
本发明的原子层沉积装置，包括供气管和吸气管，该供气管具备：供给管体，在其内部沿长度方向形成有供给气体的供气流道；排气部，沿供给管体的长度方向形成于供给管体，并与供气流道连通；该吸气管具备：吸入管体，在其内部沿长度方向形成有吸入气体的吸气流道；吸气部，沿吸入管体的长度方向形成于吸入管体，并与吸气流道连通；供气管和吸气管可以在与基板对供气管和吸气管的相对运动方向交叉的方向上彼此分开形成。本发明一实施例中的原子层沉积装置，分开形成用于供给源气体或反应气体的供给管和用于吸入除去残留气体的吸气管，从而不仅能够减少气
2023-11-23
10
2.2MB
一种等离子体增强原子层沉积镀膜装置.pdf
本发明公开了一种等离子体增强原子层沉积镀膜装置，包括反应炉、第一进气支路和第二进气支路，所述反应炉一端设有用于进气的进气端盖，所述第一进气支路和第二进气支路均与所述进气端盖相连、且交替进气。本发明具有有利于使气体反应更加充分、膜层更加均匀、膜厚可以更加精准控制、减少环境污染等优点。
2023-06-16
10
690KB