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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105417164A(43)申请公布日2016.03.23(21)申请号201510883877.4(22)申请日2015.11.27(71)申请人武汉华星光电技术有限公司地址430070湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋(72)发明人李昊(74)专利代理机构深圳市德力知识产权代理事务所44265代理人林才桂(51)Int.Cl.B65G49/06(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图5页(54)发明名称基板传送装置及基板传送方法(57)摘要本发明提供一种基板传送装置及基板传送方法。本发明的基板传送装置包括托盘(1)、设于数个轴(21)上的数个传送齿轮(2)、数个升降杆(3);托盘(1)上设有凹槽(11),凹槽(11)底部设有数个通孔(12),托盘(1)底部设有锯齿(13);数个升降杆(3)可穿过数个通孔(12)上升与下降;数个传送齿轮(2)与锯齿(13)相啮合;从而通过数个轴(21)带动数个传送齿轮(2)转动,并通过数个传送齿轮(2)与锯齿(13)之间的啮合实现对托盘(1)的传送;降低了基板传送过程中破片的风险,提升了产品良率与设备的综合效率。本发明的基板传送方法,降低了基板传送过程中破片的风险,提升了产品良率与设备的综合效率。CN105417164ACN105417164A权利要求书1/2页1.一种基板传送装置,其特征在于,包括托盘(1)、位于所述托盘(1)下方分别设于数个轴(21)上的数个传送齿轮(2)、及分别位于所述数个传送齿轮(2)下方的数个升降杆(3);所述托盘(1)上设有凹槽(11),所述凹槽(11)底部设有数个通孔(12),所述托盘(1)底部设有锯齿(13);所述数个升降杆(3)可穿过所述数个通孔(12)上升与下降;所述数个传送齿轮(2)与所述锯齿(13)相啮合;从而通过所述数个轴(21)带动所述数个传送齿轮(2)转动,并通过所述数个传送齿轮(2)与所述锯齿(13)之间的啮合实现对所述托盘(1)的传送。2.如权利要求1所述的基板传送装置,其特征在于,所述托盘(1)的材质为不锈钢。3.如权利要求1所述的基板传送装置,其特征在于,所述凹槽(11)的内部空间呈长方体。4.如权利要求3所述的基板传送装置,其特征在于,所述凹槽(11)底面的长度为1800mm,宽度为1500mm。5.如权利要求1所述的基板传送装置,其特征在于,所述凹槽(11)底部的数个通孔(12)的直径大于所述数个升降杆(3)的外径。6.一种基板传送方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、提供制程设备、与所述制程设备配合使用的基板传送装置(10)、及需要经由所述基板传送装置(10)传送并在制程设备中完成相应制程操作的基板(4);所述基板传送装置(10)包括托盘(1)、位于所述托盘(1)下方分别设于数个轴(21)上的数个传送齿轮(2)、及分别位于所述数个传送齿轮(2)下方的数个升降杆(3);所述托盘(1)上设有凹槽(11),所述凹槽(11)底部设有数个通孔(12),所述托盘(1)底部设有锯齿(13);所述数个升降杆(3)可穿过所述数个通孔(12)上升与下降;所述数个传送齿轮(2)与所述锯齿(13)相啮合;从而通过所述数个轴(21)带动所述数个传送齿轮(2)转动,并通过所述数个传送齿轮(2)与所述锯齿(13)之间的啮合实现对所述托盘(1)的传送;步骤2、将所述托盘(1)置于制程设备的入口处,此时,所述数个升降杆(3)在所述托盘(1)的数个通孔(12)中处于升起状态;步骤3、通过机械手将所述基板(4)放置到所述数个升降杆(3)上;步骤4、控制所述数个升降杆(3)在所述托盘(1)的数个通孔(12)中下降,使所述基板(4)容置于所述托盘(1)的凹槽(11)中;步骤5、控制所述数个轴(21)带动所述数个传送齿轮(2)转动,通过所述数个传送齿轮(2)与所述托盘(1)的锯齿(13)之间的啮合,带动所述托盘(1)移动至目标位置,所述基板(4)在目标位置处进行相应制程操作;步骤6、待所述基板(4)完成相应制程操作后,通过齿轮传动将所述托盘(1)移动至制程设备的出口处,控制所述数个升降杆(3)在所述托盘(1)的数个通孔(12)中上升,从而将所述基板(4)从所述托盘(1)的凹槽(11)中顶起,通过机械手将所述基板(4)取出,之后所述托盘(1)运回到制程设备的入口处,等待下一基板的传送。7.如权利要求6所述的基板传送方法,其特征在于,所述托盘(1)的材质为不锈钢。8.如权利要求6所述的基板传送方法,其特征在于,所述凹槽(11)的内部空间呈长方2CN105417164A权利要求书2/2页体。9.如权利要求8所述的基板传送方法,其特征在于,所述凹槽(11)底面的长度为1800mm,宽