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ZnO：Al靶材与薄膜的制备初步研究的任务书
任务书
一、背景
氧化锌（ZnO）具有广泛的应用前景，因其具有优异的光学特性、电学特性和力学特性等特点，已在透明电子学、光电子技术、能源领域等方面得到广泛应用。其中，ZnO：Al是一种重要的透明导电材料，具有高透明度、低电学阻抗和较高的光电传导率，可用于制备透明导电薄膜、光电器件等。
本次研究旨在制备ZnO：Al靶材和薄膜，并对其进行初步研究，为该材料的应用提供一定的基础研究和理论分析。
二、任务
1.制备ZnO：Al靶材
（1）采购ZnO和Al2O3等原材料，掌握ZnO：Al靶材的制备方法。
（2）调配适量的化学品，按照一定的工艺参数制备ZnO：Al靶材。
（3）利用热重分析（TGA）、差热分析（DSC）、X-ray衍射（XRD）等测试手段，对制备的ZnO：Al靶材进行表征和分析。
2.制备ZnO：Al薄膜
（1）利用射频磁控溅射技术，制备ZnO：Al薄膜。
（2）掌握制备ZnO：Al薄膜的关键工艺参数，调节气体流量、沉积温度等条件，使薄膜具有优异的光电性能。
（3）对制备的ZnO：Al薄膜进行表征和分析，包括膜厚、表面形貌、晶体结构等性质的检测。
3.对ZnO：Al材料进行测试与分析
（1）利用紫外可见光分光光度计（UV-Vis）、霍尔效应仪等测试手段，对ZnO：Al薄膜的光电性能进行测试与分析。
（2）通过XRD、扫描电子显微镜（SEM）等仪器，对ZnO：Al靶材和薄膜的晶体结构、微观形貌等性质进行分析。
（3）总结ZnO：Al材料的特点和应用实际中的问题，并对其进行初步的探讨和分析。
三、要求
1.扎实理论基础，熟悉材料制备和测试技术。
2.认真学习参考文献，掌握相关理论知识和实验技能，全面完成研究任务。
3.注意实验安全，严格遵守实验室制度与规定。
4.对研究结果进行科学性和可靠性的分析，撰写符合学术规范的实验报告。
四、预期成果
1.成功完成ZnO：Al靶材和薄膜的制备和表征工作，获取该材料的基本性质参数及其特点。
2.对ZnO：Al材料的应用前景和存在的问题进行初步的探讨和分析。
3.撰写一篇符合学术规范的实验报告，总结研究成果并对其进行分析和评价。
五、参考文献
1.K.Ito,S.Nakamura,T.Katayama,etal.AcomprehensivestudyofhighlycrystallineandhighlyconductiveAl-dopedZnOthinfilmspreparedonglasssubstratesbymagnetronsputtering.JournalofAppliedPhysics,2008,103(1):013708.
2.H.Zhou,X.L.Li,Q.Luo,etal.PreparationandpropertiesofhighlyconductiveandtransparentAl-dopedZnOfilmsonflexiblesubstratesbyroll-to-rollmagnetronsputtering.ThinSolidFilms,2018,652:36-42.
3.S.Y.Chou,J.M.Shaw,Y.Q.Lin,etal.ImprovementinelectricalandopticalpropertiesofZnO:Alfilmsonglasssubstratesbyrfmagnetronsputtering.ThinSolidFilms,2007,515(1):308-313.