ZnO：Al和ZnO：Fe薄膜的制备、结构及性能研究的中期报告.docx

ZnO：Al和ZnO：Fe薄膜的制备、结构及性能研究的中期报告
本研究的目的是制备不同掺杂元素（Al和Fe）含量的氧化锌（ZnO）薄膜，并研究其结构和性能。
1、材料制备
采用射频磁控溅射（RFMS）法在玻璃衬底上制备ZnO：Al和ZnO：Fe薄膜。制备过程中，采用不同掺杂元素的靶材，并设定不同的工艺参数，如沉积周期、沉积速率、沉积温度等。
2、结构分析
通过X射线衍射（XRD）分析，确定所制备的薄膜的结晶性质。结果表明，与未掺杂的ZnO薄膜相比，掺有Al或Fe的ZnO薄膜表现出更强的（002）衍射峰，表明晶体结构的纵向生长方向与基底平行。此外，掺杂元素的加入也导致晶格常数的微小变化。
3、表面形貌研究
采用场发射扫描电子显微镜（FESEM）研究所制备的薄膜的表面形貌。结果表明，ZnO：Al和ZnO：Fe薄膜的表面比未掺杂薄膜更加平坦，这可能与掺杂元素的电学调控有关。
4、光学性能研究
通过紫外-可见（UV-Vis）吸收光谱和荧光光谱，研究掺杂元素对ZnO薄膜的光学性质的影响。实验表明，掺有Fe的ZnO薄膜具有最大的吸收峰值，而掺有Al的ZnO薄膜具有最小的吸收峰值。这表明掺杂元素的不同影响薄膜的能带结构和光学性质。
总之，本实验初步证明通过RFMS技术可制备出掺杂元素不同的ZnO薄膜，并初步探究了其结构和光学性质的差异。接下来，我们将进一步深入研究各种掺杂元素对于ZnO薄膜性质的影响。