基板夹持对位装置和基板加工系统.pdf
猫巷****松臣
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基板夹持对位装置和基板加工系统.pdf
本发明提供一种基板夹持对位装置,用于对玻璃基板进行夹持对位,包括至少一个第一定位部和/或至少一个第二定位部,所述第一定位部包括杆体以及与所述杆体相连的第一滚轮,所述第二定位部包括弹簧以及与所述弹簧相连的第二滚轮,所述第一滚轮和/或所述第二滚轮用于抵靠所述玻璃基板的所述侧边。根据本发明的基板夹持对位装置能够降低对玻璃基板的冲击,并且可以减少对玻璃基板的约束,避免过定位的发生。本发明还提供一种基板加工系统。
基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置.pdf
本发明提供一种基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置。在加热台(10)上,将2片玻璃基板(1a、1b)沿机械臂(3)的移动方向成列地排列配置,在加热台设置升降部件,该升降部件为了将玻璃基板举起到相同高度而上升,通过玻璃基板下降而将其交付至机械臂,并且在加热台具备升降部件控制装置,其为了在机械臂的温度上升过程中将玻璃基板以相同温度交付至机械臂,而使玻璃基板向机械臂的交付在该机械臂的叉(16)的前端(16a)侧先进行且在基端(16b)侧后进行。由此,即便用一个机械臂一次搬送多个基板也能使各基板的温度历
基板处理装置和基板处理装置的基板检测方法.pdf
本发明提供一种可靠地检测有无被基板处理装置处理的基板的基板处理装置和基板处理装置的基板检测方法。液处理装置(1)包括:基板保持旋转部(23),其具有旋转板(23P)和基板支持部(51);以及液体供给部(24)。旋转板(23P)与旋转轴(23S)相连结,旋转轴(23S)的中央部经由旋转板(23P)的开口(29)向外方暴露。在该旋转轴(23S)的中央部安装有环状的回归反射片(30)。自斜上方向回归反射片(30)照射激光,利用激光投射接收部(26a)接收来自回归反射片(30)的反射光,并利用基板检测部(17a)
基板传送系统以及基板定位装置.pdf
本发明涉及一种基板传送系统,包括用于供玻璃基板在其上流动传送的若干滚轮组件、以及控制滚轮组件转动的控制器;该基板传送系统还包括基板定位装置,设置在滚轮组件的传送玻璃基板方向的末端;基板定位装置包括定位柱,用于挡止并定位经滚轮组件传送的玻璃基板;以及缓冲定位机构,供定位柱安装,为定位柱提供移动缓冲并带动定位柱复位。通过设置缓冲复位机构来控制定位柱的位置,进而可以消除基板的定位偏差;能够给基板缓冲接触,消除破片风险。
基板夹持装置及蒸镀设备.pdf
本发明实施例提供了一种基板夹持装置及蒸镀设备,该基板夹持装置包括:夹持板,包括第一表面及第一表面的四个侧边;多个支撑单元,夹持板的每一侧边上对应设置一个支撑单元,每一支撑单元包括沿该支撑单元所对应的侧边的延伸方向、依次间隔设置的多个支撑杆,支撑杆与夹持板之间在垂直于第一表面的方向上保持预定距离;在支撑杆的面向夹持板的一侧,和/或第一表面上对应各支撑杆的位置设置凹凸结构,凹凸结构用于使得支撑杆与夹持板之间形成支撑间隙,支撑间隙在第一方向上的宽度与凹凸结构在第一方向上的高度之和等于预定距离。本发明能够使基板与