被动元件的预形体及其量产方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106298206A(43)申请公布日2017.01.04(21)申请号201510484391.3(22)申请日2015.08.10(30)优先权数据1041205202015.06.25TW(71)申请人威华微机电股份有限公司地址中国台湾苗栗县(72)发明人萧铭河李邦彦曾彦豪(74)专利代理机构北京泰吉知识产权代理有限公司11355代理人张雅军(51)Int.Cl.H01F37/00(2006.01)H01F27/29(2006.01)H01F27/30(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图17页(54)发明名称被动元件的预形体及其量产方法(57)摘要本发明提供一种被动元件的预形体，是连接于一基板的一基座，基座具有一轮廓面，且基座的轮廓面包括相反设置的一第一侧缘及一第二侧缘。该被动元件的预形体包含：一主体部与至少一连接部。主体部具有一轮廓面，主体部的轮廓面包括相反设置的一第一侧缘及一第二侧缘。连接部具有一轮廓面，连接部的轮廓面包括相反设置的一第一端与一第二端。连接部的第一端与第二端是分别连接于基座的第二侧缘与主体部的第一侧缘，以令连接部的轮廓面衔接于主体部的轮廓面与基座的轮廓面；其中，主体部与连接部为一体者。本发明也提供前述被动元件的预形体的量产方法。CN106298206ACN106298206A权利要求书1/2页1.一种被动元件的预形体，是连接于一基板的一基座，该基座具有一轮廓面，且该基座的轮廓面包括相反设置的一第一侧缘及一第二侧缘，其特征在于：该被动元件的预形体包含：一主体部，具有一轮廓面，该主体部的轮廓面包括相反设置的一第一侧缘及一第二侧缘；及至少一连接部，具有一轮廓面，该连接部的轮廓面包括相反设置的一第一端与一第二端，该连接部的第一端与第二端是分别连接于该基座的第二侧缘与该主体部的第一侧缘，以令该连接部的轮廓面衔接于该主体部的轮廓面与该基座的轮廓面；其中，该主体部与该连接部是由一相同于该基板的材质所构成，且该主体部与该连接部为一体者。2.如权利要求1所述的被动元件的预形体，其特征在于：该连接部的数量为两个，各连接部的一宽度是自该第一端朝该第二端的一第一方向递减，且所述连接部是沿一与该第一方向夹一预定角度的第二方向彼此间隔设置。3.如权利要求2所述的被动元件的预形体，其特征在于：各连接部的第二端具有至少一凹槽，各凹槽是自各连接部的轮廓面的一顶面区与一底面区其中的一者向其顶面区与其底面区其中另一者延伸，且是自各连接部的轮廓面沿该第二方向凹陷。4.如权利要求3所述的被动元件的预形体，其特征在于：各连接部的凹槽数量是两个，各连接部的所述两凹槽的其中一者是自其轮廓面的顶面区朝其底面区延伸，且各连接部的所述两凹槽的其中另一者是自其轮廓面的底面区朝其顶面区延伸。5.如权利要求1至4任一权利要求所述的被动元件的预形体，其特征在于：该材质是选自一以硅为主的材料或一金属材料；该以硅为主的材料是石英、硅晶圆、碳化硅，或氮化硅。6.一种被动元件的预形体的量产方法，其特征在于：包含以下步骤：一步骤(a)，是至少于一基板的一上表面或一下表面上形成一具有一预定图案的光阻层，该预定图案具有一覆盖该基板上表面或下表面的数组，该数组具有多个外观形状，且各外观形状沿一第一方向依序具有彼此连接的一基座部、至少一桥接部与一本体部，所述外观形状的本体部是沿该第一方向或沿一与该第一方向夹一预定角度的第二方向彼此间隔排列；一步骤(b)，是对该基板进行蚀刻，以令裸露于该光阻层的预定图案的数组外的基板被移除掉，并从而形成多个基座与多个对应连接于各基座的如权利要求1所述的被动元件的预形体。7.如权利要求6所述的被动元件的预形体的量产方法，其特征在于：该步骤(a)所形成的光阻层的数量是两个，且所述光阻层的预定图案的所述外观形状是彼此上下对准。8.如权利要求7所述的被动元件的预形体的量产方法，其特征在于：该步骤(a)的所述光阻层的各外观形状的桥接部的数量是两个，各外观形状的连接部的一宽度是沿该第一方向递减，且各外观形状的所述连接部是沿该第二方向彼此间隔设置。9.如权利要求8所述的被动元件的预形体的量产方法，其特征在于：至少形成于该基板的上表面的光阻层的各外观形状的各桥接部于邻近其本体部处形成有一缺口，且各缺口是自其桥接部的一周缘沿该第二方向凹陷。2CN106298206A权利要求书2/2页10.如权利要求7至9任一权利要求所述的被动元件的预形体的量产方法，其特征在于：于该步骤(b)后，还包含一步骤(c)与一步骤(d)，该步骤(c)是移除所述光阻层；该步骤(d)于该步骤(c)后，且是于所述被动元件的预形体的所述连接部处，由上而下或由下而上分别施予一外力，使各被动元件的预形体的连接部的第二