无芯轴靶材喷涂设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106319431A(43)申请公布日2017.01.11(21)申请号201610968145.X(22)申请日2016.10.31(71)申请人芜湖映日科技有限公司地址241009安徽省芜湖市经济技术开发区汽经一路5号1-005(72)发明人雷雨石煜曾墩风罗永春胥小勇(74)专利代理机构南京正联知识产权代理有限公司32243代理人胡定华(51)Int.Cl.C23C4/134(2016.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称无芯轴靶材喷涂设备(57)摘要本发明提供一种无芯轴靶材喷涂设备，包括底座，底座上设置有动力头基座和尾座底座，动力头基座和尾座底座分别设置在底座的两端，动力头基座和尾座底座上均设置有固定装置，固定装置上设置有旋转接头，通过固定装置对靶材进行固定，旋转接头带动靶材转动，动力头基座内部设置有传动轴，动力头基座后部设置有皮带轮，皮带轮通过传动轴与旋转接头连接，动力头基座上设置有进水口，尾座底座上的旋转接头上设置有出水口。采用无芯轴安装方式，使用旋转接头做为支撑，尾座有气缸顶紧密封，水路从靶材一端进，一端出，同时可以冷却动力箱部分，提高靶材喷涂工作效率，通过进水口和出水口对靶材进行降温，在喷涂时保证靶材温度，提高工作效率。CN106319431ACN106319431A权利要求书1/1页1.一种无芯轴靶材喷涂设备，包括底座（1），所述底座（1）上设置有动力头基座（2）和尾座底座（3），所述动力头基座（2）和尾座底座（3）分别设置在底座（1）的两端，其特征在于：所述动力头基座（2）和尾座底座（3）上均设置有固定装置（4），所述固定装置（4）上设置有旋转接头（5），通过固定装置（4）对靶材进行固定，旋转接头（5）带动靶材转动，所述动力头基座（2）内部设置有传动轴（6），所述动力头基座（2）后部设置有皮带轮（7），所述皮带轮（7）通过传动轴（6）与旋转接头（5）连接，所述动力头基座（2）上设置有进水口（8），所述尾座底座（3）上的旋转接头（5）上设置有出水口（9）。2.如权利要求1所述的无芯轴靶材喷涂设备，其特征在于：所述底座（1）上设置有固定防尘罩（10）。3.如权利要求1所述的无芯轴靶材喷涂设备，其特征在于：所述尾座底座（3）上设置有气缸（11），通过气缸（11）对尾座底座（3）上的固定装置（4）的位置进行调整，所述尾座底座（3）上端设置有锁紧手柄（12）。4.如权利要求1所述的无芯轴靶材喷涂设备，其特征在于：所述动力头基座（2）内设置有调整块（13），通过调整块（13）对传动轴（6）的位置进行调整。2CN106319431A说明书1/2页无芯轴靶材喷涂设备技术领域[0001]本发明涉及靶材制造领域，尤其涉及一种无芯轴靶材喷涂设备。背景技术[0002]目前在制造靶材是，需要对靶材进行等离子喷涂，而现有等离子喷涂的旋转靶材安装时由于冷却的需要，必须要有芯轴来确保冷却水在靶材内壁循环冷却。此安装过程过于繁琐，平均安装一支靶材需要1个小时的时间，严重制约了生产效率，无形之中提高成本。发明内容[0003]针对上述现有技术存在的问题，本发明的目的是提供一种无芯轴靶材喷涂设备，采用无芯轴安装方式，使用旋转接头做为支撑，尾座有气缸顶紧密封，水路从靶材一端进，一端出，同时可以冷却动力箱部分，提高靶材喷涂工作效率。[0004]本发明提供一种无芯轴靶材喷涂设备，包括底座，所述底座上设置有动力头基座和尾座底座，所述动力头基座和尾座底座分别设置在底座的两端，所述动力头基座和尾座底座上均设置有固定装置，所述固定装置上设置有旋转接头，通过固定装置对靶材进行固定，旋转接头带动靶材转动，所述动力头基座内部设置有传动轴，所述动力头基座后部设置有皮带轮，所述皮带轮通过传动轴与旋转接头连接，所述动力头基座上设置有进水口，所述尾座底座上的旋转接头上设置有出水口。[0005]进一步改进在于：所述底座上设置有固定防尘罩。[0006]进一步改进在于：所述尾座底座上设置有气缸，通过气缸对尾座底座上的固定装置的位置进行调整，所述尾座底座上端设置有锁紧手柄。[0007]进一步改进在于：所述动力头基座内设置有调整块，通过调整块对传动轴的位置进行调整。[0008]本发明的有益效果是：采用无芯轴安装方式，使用旋转接头做为支撑，尾座有气缸顶紧密封，水路从靶材一端进，一端出，同时可以冷却动力箱部分，提高靶材喷涂工作效率，通过进水口和出水口对靶材进行降温，在喷涂时保证靶材温度，提高工作效率。附图说明[0009]图1是本发明的结构示意图。[0010]图2是本发明的动力头基座结构放大图。[0011]图3是本发明的尾座底座结构放大图。[0012]其中：1-底座，2-动力头基座，3-尾座底座，