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一种新型靶材炉设备及靶材邦定方法.pdf
2023-06-18
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一种新型靶材炉设备，属于靶材邦定技术领域。该设备炉体的一侧设置炉门，炉体内设置加热基台，加热基台内设有用于控温的加热装置和温度检测仪，加热基台上连接用于放置靶材的靶材基板，靶材基板的正上方设置有加压板，加压板的上端连接位于炉体外的液压泵，炉体内部与外置的真空泵连通。本发明人工操作程序简单，靶材邦定效率提高；经过计算焊接的面积和铟球质量，可以确保铟料的利用率在98％以上；抽真空可以有效减少靶材和基板中间的空气和水蒸气，可以确保焊接的面积在97％以上；压力控制可以有效增加靶材和基板之间的结合力，保证后期溅射过
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