一种新型靶材炉设备及靶材邦定方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106766869A(43)申请公布日2017.05.31(21)申请号201710004399.4(22)申请日2017.01.04(71)申请人青岛蓝光晶科新材料有限公司地址山东省青岛市即墨市蓝色硅谷核心区创业中心一期海创中心3号楼A座4-401(72)发明人张磊顾正张晓峰郭校亮陈良杰(74)专利代理机构大连理工大学专利中心21200代理人梅洪玉(51)Int.Cl.F27B5/05(2006.01)F27D5/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种新型靶材炉设备及靶材邦定方法(57)摘要一种新型靶材炉设备，属于靶材邦定技术领域。该设备炉体的一侧设置炉门，炉体内设置加热基台，加热基台内设有用于控温的加热装置和温度检测仪，加热基台上连接用于放置靶材的靶材基板，靶材基板的正上方设置有加压板，加压板的上端连接位于炉体外的液压泵，炉体内部与外置的真空泵连通。本发明人工操作程序简单，靶材邦定效率提高；经过计算焊接的面积和铟球质量，可以确保铟料的利用率在98％以上；抽真空可以有效减少靶材和基板中间的空气和水蒸气，可以确保焊接的面积在97％以上；压力控制可以有效增加靶材和基板之间的结合力，保证后期溅射过程中的靶材不出现脱落问题；熟练工人靶材邦定的合格率达到100％。CN106766869ACN106766869A权利要求书1/1页1.一种新型靶材炉设备，其特征在于：炉体(1)的一侧设置炉门(2)，炉体(1)内设置加热基台(3)，加热基台(3)内设有用于控温的加热装置和温度检测仪，加热基台(3)上连接用于放置靶材(5)的靶材基板(4)，靶材基板(4)的正上方设置有加压板(6)，加压板(6)的上端连接位于炉体(1)外的液压泵(8)，炉体(1)内部与外置的真空泵(7)连通。2.根据权利要求1所述的一种新型靶材炉设备，其特征在于：所述加压板(6)的长度与宽度分别不小于靶材基板(4)的长度与宽度，加压板(6)的材质为不锈钢、铝、聚四氟乙烯、铜中的一种或几种组合。3.根据权利要求1所述的一种新型靶材炉设备，其特征在于：所述液压泵(8)上连接压力表(9)。4.根据权利要求1所述的一种新型靶材炉设备，其特征在于：所述加热基台(3)与靶材基板(4)之间为螺栓连接。5.根据权利要求1所述的一种新型靶材炉设备，其特征在于：所述加热基台(3)的工作温度为150～160℃。6.根据权利要求1所述的一种新型靶材炉设备，其特征在于：所述真空泵(7)的工作压强为0.5～100Pa。7.根据权利要求1-6任一所述的一种新型靶材炉设备进行靶材邦定方法，其特征在于：具体包括以下步骤：1)先在靶材基板(4)上安装模具，并进行固定；2)将铟球放置于模具内并均匀铺平；3)将靶材(5)放置于铟球上，并与模具贴紧，固定，确保加温加压的过程中不会产生位移；4)利用液压泵(8)下移加压板(6)，确保加压板(6)与靶材(5)贴紧锁定，关闭炉门(2)；5)开启真空泵(7)，设定设备的真空腔室工作压强；6)设定压力值，使靶材基板(4)与靶材(5)之间的压强始终维持在一定值；开启升温功能，使加热基台(3)升温至一定值；7)待温度稳定达到一段时间后，关闭电源，卸除加压板(6)的压力；待温度下降到一定值后，破除真空，打开炉门(2)，取出焊接好的靶材进行检验。8.根据权利要求7所述的一种靶材邦定方法，其特征在于：所述步骤5)中真空腔的工作压强为0.5～100Pa。9.根据权利要求7所述的一种靶材邦定方法，其特征在于：所述步骤6)中靶材基板(4)与靶材(5)之间的压强始终维持在0.5～3MPa，加热基台(3)升温至150～160℃。10.根据权利要求7所述的一种靶材邦定方法，其特征在于：所述步骤7)中维持温度稳定的时间为0.3～0.6H，破除真空的临界温度为110～130℃。2CN106766869A说明书1/3页一种新型靶材炉设备及靶材邦定方法技术领域[0001]本发明属于靶材邦定技术领域，特别涉及一种新型靶材炉设备。背景技术[0002]靶材的邦定设备是由加热带，加压螺杆组成，能够满足市场的需求，但是工艺比较粗糙，容易出现邦定孔隙，会给后续产品的使用带来风险。[0003]另外，要求普通的靶材一般使用铟球焊接，来降低制造成本。但是，由于铟的熔点低，制造过程中如果温度控制过高，会使铟的液态承压顺缝隙流出。因此，如何通过温度和压力控制来解决烧结合格率低、后期使用风险高的问题是靶材邦定方法的核心技术。发明内容[0004]本发明的目的是克服以上现有技术的不足，提供一种操作简单、烧结合格率高的新型靶材炉设备。本发明的另一目的是提供一种利用该靶材炉进行靶材邦定的方法。[0005]本发明为实现上述目的所采