晶圆片边缘处理装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106384721A(43)申请公布日2017.02.08(21)申请号201610867122.X(22)申请日2016.09.29(71)申请人无锡宏纳科技有限公司地址214000江苏省无锡市新区清源路20号太湖国际科技园传感网大学科技园立业楼D区一楼(72)发明人吕耀安(74)专利代理机构无锡华源专利商标事务所(普通合伙)32228代理人孙力坚聂启新(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/677(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称晶圆片边缘处理装置(57)摘要本发明涉及一种晶圆片边缘处理装置，包括清洗池及安装于清洗池上方的清洗腔，所述清洗池中安装有多个驱动滚轮，驱动滚轮的驱动轴与驱动装置连接；所述清洗腔中设有多个清洗槽，所述清洗槽对应位于驱动滚轮的上方。本发明专用于晶圆片边缘的清洗处理，采用多个驱动齿轮集中驱动晶圆片，其清洗效率高，整个处理装置的结构简单、紧凑。CN106384721ACN106384721A权利要求书1/1页1.一种晶圆片边缘处理装置，其特征在于：包括清洗池(1)及安装于清洗池(1)上方的清洗腔(2)，所述清洗池(1)中安装有多个驱动滚轮(3)，驱动滚轮(3)的驱动轴与驱动装置连接；所述清洗腔(2)中设有多个清洗槽(4)，所述清洗槽(4)对应位于驱动滚轮(3)的上方。2.根据权利要求1所述的晶圆片边缘处理装置，其特征在于：所述清洗腔(2)中设有插置于清洗槽(4)两侧的导杆(5)。3.根据权利要求1所述的晶圆片边缘处理装置，其特征在于：所述清洗槽(4)包括多排，相邻排的清洗槽(4)之间错开布置。4.根据权利要求1所述的晶圆片边缘处理装置，其特征在于：所述清洗腔(2)的末端设有吹除管(6)及抽吸管(7)，所述吹除管(6)与净化风机连接，所述抽吸管(7)与抽吸泵连接。2CN106384721A说明书1/2页晶圆片边缘处理装置技术领域[0001]本发明涉及集成电路生产设备领域，特别涉及晶圆片的处理设备。背景技术[0002]利用传统的清洗设备可以较为便利的清洗晶圆正面和背面的污染，但是晶圆边缘尤其是倒角区的污染常常被忽略或者去除难度较大。发明内容[0003]针对现有技术存在的上述问题，申请人进行研究及设计，提供一种晶圆片边缘处理装置，专用于晶圆片边缘的清洗处理,其结构合理、使用方便、成本低。[0004]为了解决上述问题，本发明采用如下方案：[0005]一种晶圆片边缘处理装置，包括清洗池及安装于清洗池上方的清洗腔，所述清洗池中安装有多个驱动滚轮，驱动滚轮的驱动轴与驱动装置连接；所述清洗腔中设有多个清洗槽，所述清洗槽对应位于驱动滚轮的上方。[0006]作为上述技术方案的进一步改进：[0007]所述清洗腔中设有插置于清洗槽两侧的导杆。[0008]所述清洗槽包括多排，相邻排的清洗槽之间错开布置。[0009]所述清洗腔的末端设有吹除管及抽吸管，所述吹除管与净化风机连接，所述抽吸管与抽吸泵连接。[0010]本发明的技术效果在于：[0011]本发明专用于晶圆片边缘的清洗处理，采用多个驱动齿轮集中驱动晶圆片，其清洗效率高，整个处理装置的结构简单、紧凑。附图说明[0012]图1为本发明的结构示意图。[0013]图2为本发明中清洗槽的布置图。[0014]图中：1、清洗池；2、清洗腔；3、驱动滚轮；4、清洗槽；5、导杆；6、吹除管；7、抽吸管；100、晶圆片。具体实施方式[0015]下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。[0016]如图1、图2所示，本实施例的晶圆片边缘处理装置，包括清洗池1及安装于清洗池1上方的清洗腔2，清洗池1中安装有多个驱动滚轮3，驱动滚轮3的驱动轴与驱动装置连接，驱动装置包括齿形带、驱动电机，齿形带与驱动轴端部的齿轮连接；清洗腔2中设有多个清洗槽4，清洗槽4对应位于驱动滚轮3的上方。使用时，将晶圆片100置入清洗槽4中，启动驱动装置，驱动滚轮3转动，驱动清洗槽4中的晶圆片100转动，并对其边缘进行摩擦，将边缘处的污3CN106384721A说明书2/2页染物清除。[0017]如图1、图2所示，为便于晶圆片100置入清洗槽4中，清洗腔2中设有插置于清洗槽4两侧的导杆5。沿着两侧的导杆5，可快速将晶圆片100放入。[0018]如图2所示，为提高清洗效率并降低设备的占用空间，清洗槽4包括多排，相邻排的清洗槽4之间错开布置，整个结构紧凑。[0019]如图1所示，清洗腔2的末端设有吹除管6及抽吸管7，吹除管6与净化风机连接，抽吸管7与抽吸泵连接，吹除管6用于吹除清洗后晶圆片100边缘的清洗液，抽吸管7用于抽吸即将取出的晶圆片100上溶液挥发的腐蚀气体。[0020]以上所举实