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大口径非球面轮廓加工检测一体化装置与方法.pdf
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大口径非球面轮廓加工检测一体化装置与方法.pdf
本发明属于光学精密测试、精密加工技术领域，涉及一种大口径精密非球面加工检测装置与方法，可用于精密光学系统中大型高精度非球面元件面形的检测与加工。本发明基于直线/回转基准技术等，通过将加工设备的功能与检测设备的功能相融合，实现了基于精密气浮回转中心的集加工和检测功能于一体的大口径非球面元件的高精度加工检测。本发明利用研抛关键臂，依据设定的工艺加工参数对工件进行反复研抛，然后利用测量臂上的传感测量系统对被研抛工作表面的轮廓参数直接进行检测，计算机测量控制系统依据测得轮廓数据来确定研抛关键臂的加工路径和研磨量，
2023-09-03
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2023-09-02
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一种大口径非球面元件轮廓检测装置及方法.pdf
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一种轮廓检测装置及其检测光学非球面的方法.pdf
本申请公开了一种轮廓测量装置，用于检测光学非球面的面型轮廓，包括导轨和移动设置在所述导轨上的测量机构，其中，所述测量机构包括：与所述导轨滑动连接的连接件；设置在所述连接件上的杠杆机构，所述杠杆机构的杠杆的一端，连接有能够与光学非球面接触的球头，另一端连接有测量探头。本发明提供的轮廓检测装置，因为球头在光学非球面的表面上连续移动，不仅能够实现对光学非球面的连续测量，而且可以利用杠杆机构的放大作用以及测量探头的光栅传感器的准确度，将光学非球面的表面轮廓起伏放大，从而显著提高了对光学非球面的测量准确度。本发明还
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