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多晶硅片的加工方法.pdf
2023-09-02
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多晶硅片的加工方法.pdf
本发明公开了一种多晶硅片的加工方法，按以下步骤进行：S1、经过铸锭、开方、研磨加工后得到晶棒；S2、粘棒；S3、装料：将载有晶棒的晶托固定在金刚线切片机的切割室内的升降台上，切割室内平行设置有两个导线轮，两导线轮上缠绕有金刚线，升降台上具有沿导线轮轴线方向延伸的T型定位滑槽，晶托上具有适于与T型定位滑槽相配合的T型定位滑块，T型定位滑块与T型定位滑槽插接配合到位后将T型定位滑块在T型定位滑槽内锁定从而完成晶托的固定；S4、切片；S5、卸料及脱胶；S6、检验及包装；本发明中的步骤S2中对晶托锁定的可靠性高，
2023-09-02
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硅片表面长多晶的方法.pdf
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高纯度多晶硅片的制备方法.pdf
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2023-06-18
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