多晶硅片制绒装置及方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108963033A(43)申请公布日2018.12.07(21)申请号201810768236.8(22)申请日2018.07.13(71)申请人宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司地址315177浙江省宁波市海曙区望春工业园区杉杉路181号(72)发明人蔡二辉刘晓巍徐晓群(74)专利代理机构宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙)33228代理人潘李亮(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L31/0236(2006.01)C30B33/10(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称多晶硅片制绒装置及方法(57)摘要本发明涉及太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种多晶硅片制绒装置及方法，包括制绒槽（1）以及设置在制绒槽内用于带动硅片移动的移动辊（2），所述制绒槽底部靠近硅片进入位置设有回流管（3），所述制绒槽底部靠近硅片退出位置设有进液管（4），且所述制绒槽的硅片进入位置以及硅片退出位置处设有用于阻挡药液流出的挡液轮（5）。这种多晶硅制绒装置及方法制绒效果较好。CN108963033ACN108963033A权利要求书1/1页1.一种多晶硅片制绒装置，包括制绒槽（1）以及设置在制绒槽内用于带动硅片移动的移动辊（2），其特征在于：所述制绒槽底部靠近硅片进入位置设有回流管（3），所述制绒槽底部靠近硅片退出位置设有进液管（4），且所述制绒槽的硅片进入位置以及硅片退出位置处设有用于阻挡药液流出的挡液轮（5）。2.根据权利要求1所述的多晶硅片制绒装置，其特征在于：它还包括控制器，且所述进液管（4）以及回流管（3）内均设有控制阀，所述控制阀均与控制器电连接。3.根据权利要求2所述的多晶硅片制绒装置，其特征在于：所述制绒槽（1）内设有液位检测模块，所述液位检测模块与控制器电连接。4.根据权利要求2所述的多晶硅片制绒装置，其特征在于：所述制绒槽外部还分别设有用于检测进入制绒槽前的硅片重量的第一重量检测模块（6）以及用于检测退出制绒槽后的硅片重量的第二重量检测模块（7），所述第一重量检测模块（6）以及第二重量检测模块（7）均与控制器电连接。5.根据权利要求2所述的多晶硅片制绒装置，其特征在于：它还包括加液容器以及用于向加液容器内加入药液的加液装置，所述加液装置与控制器电连接，且所述加液管均与加液容器连通。6.一种多晶硅片制绒方法，其特征在于：它包括以下步骤：S1、首先控制进液管与回流管内的控制阀打开，使药液在制绒槽内形成一个循环，然后控制移动辊工作带动硅片移动；S2、液位检测模块开始检测制绒槽液位，同时第一重量检测模块以及第二重量检测模块开始检测硅片重量，当检测到的液位处于设定的阈值X和Y之间，则继续进行检测；若检测到的液位小于阈值X，则控制进液管内的控制阀，使得进液管的进液量加大，然后继续检测；若检测到的液位大于阈值Y，则控制进液管内的控制阀，使得进液管的进液量减小，然后继续检测；当第一重量检测模块检测到的硅片重量与设定的Z时间后第二重量检测模块检测到这块硅片的重量之差处于设定的阈值A和B之间，则继续进行检测；若检测到的重量之差小于阈值A，则调高制绒槽内的药液浓度，然后继续检测；若检测到的重量之差大于阈值B，则降低制绒槽内的药液浓度，然后继续检测。7.根据权利要求6所述的一种多晶硅片制绒方法，其特征在于：步骤S1中用户先控制前面至少两根回流管的控制阀打开，然后控制其余的回流管关闭，同时控制后面至少两根进液管打开，然后控制其余的进液管关闭。8.根据权利要求6所述的一种多晶硅片制绒方法，其特征在于：步骤S2中使进液管液量加大还可以通过打开之前关闭的进液管来实现，使进液管液量减少还可以通过关闭之前打开的进液管来实现。9.根据权利要求6所述的一种多晶硅片制绒方法，其特征在于：步骤S2中调节制绒槽内药液浓度主要通过控制加液装置的加液量来进行控制。2CN108963033A说明书1/4页多晶硅片制绒装置及方法技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种多晶硅片制绒装置及方法。背景技术[0002]目前多晶硅片制绒一般采用链式设备进行，硅片行进至制绒槽，与氢氟酸、硝酸和水的混合液进行反应，去除硅片表面由于切割引入的损伤层，形成2um左右的微型凹坑即绒面，在硅片表面起到陷光作用，降低了硅片表面的反射率，有利于电池效率的提升。[0003]硅片与氟酸、硝酸反应是放热反应，过程中放出大量的热量，温度越高反应越剧烈，同时与药液的浓度也有关，浓度越高反应也越剧烈。制绒槽通过药液循环与制冷剂热交换进行降温，比较理想的状态是药液温度可控，药液反应平稳均匀，这样形成的绒面也比较均匀，色差比例低，电池效率也比较高。[0004]多晶链式