一种光伏太阳能硅片减薄处理装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107199488A(43)申请公布日2017.09.26(21)申请号201710457481.2(22)申请日2017.06.16(71)申请人徐州蓝湖信息科技有限公司地址221000江苏省徐州市泉山区科技大道科技大厦二层215-4(72)发明人不公告发明人(51)Int.Cl.B24B7/22(2006.01)B24B47/12(2006.01)B24B7/17(2006.01)B24B55/06(2006.01)B24B41/06(2012.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种光伏太阳能硅片减薄处理装置(57)摘要本发明一种光伏太阳能硅片减薄处理装置公开了一种通过两级行星轮盘，对硅片进行双面磨削预减薄的装置。其特征在于密封轴承置于接屑盘底端中部，连接轴一端穿过密封轴承置于接屑盘内，磨削工作台中部通过连接套置于连接轴上，所述磨削工作台上表面开有导液槽，所述导液槽为网纹状结构，所述磨削工作台中心位置安装槽密度大于边缘位置，多个橡胶环分别置于磨削工作台上，且呈环形分布，所述橡胶环的直径从中间向两侧逐渐增加，所述橡胶环的内壁上均匀置有多个凸点，所述磨削工作台上开有多个限距孔，限距标杆置于限距孔内，第一中心齿轮置于连接轴上，且位于磨削工作台的下方，一级行星架总成置于连接轴上。CN107199488ACN107199488A权利要求书1/1页1.一种光伏太阳能硅片减薄处理装置，其特征是：密封轴承置于接屑盘底端中部，连接轴一端穿过密封轴承置于接屑盘内，磨削工作台中部通过连接套置于连接轴上，所述磨削工作台上表面开有导液槽，所述磨削工作台中心位置安装槽密度大于边缘位置，多个橡胶环分别置于磨削工作台上，且呈环形分布，所述橡胶环的直径从中间向两侧逐渐增加，所述橡胶环的内壁上均匀置有多个凸点，所述磨削工作台上开有多个限距孔，限距标杆置于限距孔内，第一中心齿轮置于连接轴上，且位于磨削工作台的下方，一级行星架总成置于连接轴上，所述一级行星架总成上的四个行星齿轮分别和第一中心齿轮相啮合，第一齿圈套置于一级行星架总成上，且分别和一级行星架总成上的四个行星齿轮相啮合，第二中心齿轮置于连接轴上，且位于磨削工作台的上方，二级行星架总成置于连接轴上，所述二级行星架总成上的四个行星齿轮分别和第二中心齿轮相啮合，第二齿圈套置于二级行星架总成上，且分别和二级行星架总成上的四个行星齿轮相啮合，两个磨削刀盘分别置于第一齿圈和第二齿圈上，且中部分别通过连接套置于连接轴上，所述两个磨削刀盘分别位于磨削工作台的上下两侧，所述靠上的磨削刀盘下表面等角度开有多个安装槽，所述靠下的磨削刀盘上表面等角度开有多个安装槽，所述安装槽截面为T型，所述安装槽内置有橡胶垫，安装块置于安装槽内，磨削条置于安装块上，磨削刀头通过连接扣置于磨削条上，所述磨削刀头中间高度高于两侧，所述磨削刀头上开有多个排屑槽，所述排屑槽的进口宽，出口窄，所述磨削刀头的外表面和对应磨削刀盘靠近磨削工作台的表面齐平，所述两个磨削刀盘靠近磨削工作台的表面上分别置有一层磨削绒布。2.根据权利要求1所述的一种光伏太阳能硅片减薄处理装置，其特征在于所述导液槽为网纹状结构。3.根据权利要求1所述的一种光伏太阳能硅片减薄处理装置，其特征在于所述磨削绒布由鸵鸟绒毛制成。2CN107199488A说明书1/3页一种光伏太阳能硅片减薄处理装置技术领域[0001]本发明一种光伏太阳能硅片减薄处理装置，涉及一种对光伏太阳能硅片进行预减薄处理的装置，属于光伏设备领域。特别涉及一种通过两级行星轮盘，对硅片进行双面磨削预减薄的装置。背景技术[0002]目前，硅片被广泛应用在光伏领域，而硅片在加工过程中，需要对硅片的厚度进行适当的减薄调整，其主要原因是薄片可以降低器件的导通电阻和压降，从而大幅度减少器件的导通损耗，并提升器件在散热等方面的性能，现有的硅片加工时先对硅片进行切割，然后进行减薄，而硅片减薄方式包括研磨、化学机械抛光、干式抛光等，然而此类的减薄都是对硅片进行小范围内的减薄处理，精度要求较高，而切割后的硅片尺寸差值较大，直接进行上述方式进行减薄，费时费力，且对设备损失加大，且在减薄时，由于减薄磨削行程大，在磨削过程中会出现硅片内部应力释放导致开裂的问题，所以有必要在切割后以及精减薄之间增加预减薄的工作，以解决硅片减薄效率低、破碎率高的问题，同时现有的在磨削过程中，只能单独对硅片一面进行磨削，然后再更换另一面，这种方法不仅费时费力，降低了加工的效率，并且在对硅片进行翻转时需要配合真空吸盘，然而真空吸盘在翻转时会和硅片表面接触，对硅片表面造成损害，不利于硅片的后序加工。发明内容[0003]为了改善上述情况，本发