一种水膜刻蚀工艺用粘液滚轮.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107507797A(43)申请公布日2017.12.22(21)申请号201710690125.5(22)申请日2017.08.14(71)申请人通威太阳能（安徽）有限公司地址230088安徽省合肥市高新区长宁大道与习友路交口西南角(72)发明人程寅亮唐亮林宝剑李扣龙廖杰(74)专利代理机构昆明合众智信知识产权事务所53113代理人张玺(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图4页(54)发明名称一种水膜刻蚀工艺用粘液滚轮(57)摘要本发明公开了一种水膜刻蚀工艺用粘液滚轮，包括圆柱体和螺纹套，所述圆柱体上套设有若干个螺纹套，且每两个螺纹套之间形成一个缺口，所述螺纹套与圆柱体活动连接，且每个缺口处的圆柱体上套设有圆柱套，所述圆柱体上开设有移动槽，所述螺纹套内壁上对应移动槽固定有移动块，所述圆柱套外径小于螺纹套外径。本发明中由于螺纹套是套设在圆柱体上的，所以螺纹套的直径较大，缺口处无螺纹的圆柱体直径较小，当硅片经过此滚轮处时，硅片边缘与缺口处无螺纹的圆柱体形成一个高度，这样硅片的边缘就不会与滚轮接触造成破水现象，大大降低了不良片的产生，减少了造片成本，值得推广。CN107507797ACN107507797A权利要求书1/1页1.一种水膜刻蚀工艺用粘液滚轮，包括圆柱体(1)和螺纹套(2)，其特征在于：所述圆柱体(1)上套设有若干个螺纹套(2)，且每两个螺纹套(2)之间形成一个缺口(3)。2.根据权利要求1所述的一种水膜刻蚀工艺用粘液滚轮，其特征在于：所述圆柱体(1)与螺纹套(2)为一体成型结构。3.根据权利要求1所述的一种水膜刻蚀工艺用粘液滚轮，其特征在于：所述螺纹套(2)与圆柱体(1)活动连接，且每个缺口(3)处的圆柱体(1)上套设有圆柱套(4)。4.根据权利要求2所述的一种水膜刻蚀工艺用粘液滚轮，其特征在于：所述圆柱体(1)上开设有移动槽(5)，所述螺纹套(2)内壁上对应移动槽(5)固定有移动块(6)。5.根据权利要求2所述的一种水膜刻蚀工艺用粘液滚轮，其特征在于：所述圆柱套(4)外径小于螺纹套(2)外径。2CN107507797A说明书1/3页一种水膜刻蚀工艺用粘液滚轮技术领域[0001]本发明涉及硅片刻蚀工具技术领域，具体为一种水膜刻蚀工艺用粘液滚轮。背景技术[0002]硅片刻蚀工艺为了实现更好的刻蚀效果，一般都会在刻蚀装置上安装水膜设备，但是由于水膜在刻蚀过程中，水膜容易发生破水现象，从而造成刻蚀线不良，影响硅片质量。[0003]对刻蚀工具进行观察，发现水膜破水现象的发生主要是由于刻蚀槽内粘液滚轮的原因，如说明书附图1所示，原装粘液滚轮设计为一整根带有细小锋利螺纹形状的柱体，安装在刻蚀槽的最前端，设计成螺纹状的目的是为了硅片背面更好的粘液，防止背面因气泡或粘液不好造成刻不透，但是现有技术中粘液滚轮存在一个较为明显的缺陷：当硅片经过此粘液滚轮时，滚轮转动，螺纹带液偶尔会碰到硅片边缘，造成水膜破水，溶液爬到硅片表面造成过刻，从而影响硅片刻蚀质量，导致不良片的产生，大大降低了经济效益。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种水膜刻蚀工艺用粘液滚轮，以解决上述背景技术中提出的问题。[0005]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：[0006]一种水膜刻蚀工艺用粘液滚轮，包括圆柱体和螺纹套，所述圆柱体上套设有若干个螺纹套，且每两个螺纹套之间形成一个缺口。[0007]优选的，所述圆柱体与螺纹套为一体成型结构。[0008]优选的，所述螺纹套与圆柱体活动连接，且每个缺口处的圆柱体上套设有圆柱套。[0009]优选的，所述圆柱体上开设有移动槽，所述螺纹套内壁上对应移动槽固定有移动块。[0010]优选的，所述圆柱套外径小于螺纹套外径。[0011]与现有技术相比，本发明的有益效果是：[0012]本发明通过圆柱体上套设的螺纹套形成一个新型的粘液滚轮，在每两个螺纹套之间形成一个缺口，硅片刻蚀过程中，将硅片放置在螺纹套上，控制硅片两端边缘处与螺纹套两端对齐，以保证硅片背面可以通过螺纹套很好的进行完全粘液。[0013]本发明中由于螺纹套是套设在圆柱体上的，所以螺纹套的直径较大，缺口处无螺纹的圆柱体直径较小，当硅片经过此滚轮处时，硅片边缘与缺口处无螺纹的圆柱体形成一个高度，这样硅片的边缘就不会与滚轮接触造成破水现象，大大降低了不良片的产生，减少了造片成本，值得推广。附图说明[0014]图1为原有粘液滚轮的结构示意图；3CN107507797A说明书2/3页[0015]图2为本发明的粘液滚轮的结构示意图；[0016]图3为本发明实施例中粘液滚轮与硅片连接示意图；[0017]图4为本发明实施例