喷头、水膜喷淋组件及刻蚀系统.pdf

本申请提供一种喷头、水膜喷淋组件及刻蚀系统,涉及太阳电池制造领域。喷头包括第一管部、第二管部以及阀门。第一管部具有第一流道;第二管部具有沿其轴向相对的第一端以及第二端,以及贯穿第一端和第二端的第二流道,第一端与第一管部连接且使第一流道和第二流道连通,第二流道的内径自第一端向第二端逐渐变大;阀门设置于第一管部,阀门用于控制第一流道的通断以及调节经第一流道流出的流体的流量。利用喷头结构的改进,可改善易堵塞的问题,当其引入水膜喷淋组件中并应用于太阳电池的刻蚀工序时,其不仅能够提高产品良率,而且能够适应多种尺寸的硅片加工,有效降低生产成本以及提高太阳电池的发电效率。