N面GaN外延薄膜生长研究的中期报告.docx
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N面GaN外延薄膜生长研究的中期报告.docx
N面GaN外延薄膜生长研究的中期报告N面GaN外延薄膜生长研究的中期报告:自从GaN材料被发现以来,其因其优异的物理性能,已被广泛研究。GaN材料广泛应用于LED、光电器件和微波器件等领域。然而,GaN材料的生长技术、质量和成本等问题仍然是制约其进一步应用的瓶颈。因此,本研究旨在开发出一种简单、高效、低成本的N面GaN外延薄膜生长技术。在研究过程中,采用了金属有机化学气相沉积(MOCVD)法生长N面GaN外延薄膜。经过多次实验,发现实现了高质量、高晶格匹配度、低偏晶等优点的N面GaN外延薄膜生长。同时,研
N极性GaN基薄膜材料的外延生长及特性研究的开题报告.docx
N极性GaN基薄膜材料的外延生长及特性研究的开题报告一、题目N极性GaN基薄膜材料的外延生长及特性研究二、研究背景氮化镓(GaN)是III族/V族电子化合物半导体材料,由于其热稳定性、宽禁带宽度、高能隙、高电场饱和速度和高载流子浓度等特性,成为研究和应用的热点。GaN材料的外延生长在构建高品质GaN衬底和深蓝绿色LED芯片方面具有重要的意义。在丰富的外延生长技术中,通过调节材料极性实现性能提升,已成为当前发展趋势之一。本项目将围绕N极性GaN基薄膜材料的外延生长及特性展开研究。三、研究内容及目标本项目将采
N极性GaN基薄膜材料的外延生长及特性研究的任务书.docx
N极性GaN基薄膜材料的外延生长及特性研究的任务书一、选题背景和目的宽禁带III-V族氮化物材料由于其具有较高的耐高温、高电压和高功率等特性,在半导体器件领域中具有广泛应用前景。其中,N极性GaN基薄膜材料是一种当前研究热点,其具有优异的电学、光学和力学性能,被广泛应用于LED、高电子迁移率晶体管等领域。但是,由于N极性GaN材料的外延生长和制备过程复杂,其制备性能还需要进一步研究和优化。因此,本文选题旨在研究N极性GaN基薄膜材料的外延生长及其特性,具体包括以下方面:从外延材料生长角度,探究N极性GaN
GaN的MOCVD侧向外延生长研究的中期报告.docx
GaN的MOCVD侧向外延生长研究的中期报告本次研究旨在探究使用MOCVD方法实现GaAs基底上的GaN侧向外延生长。在前期的实验中,我们使用了不同的外延衬底和生长条件进行了探究。在本中期报告中,我们将展示我们所得到的部分实验结果及其分析。首先,我们使用了SiC、AlN外延衬底进行生长,发现使用SiC作为外延衬底,能够得到比较规整的GaN外延薄膜。但在使用AlN外延衬底时,GaN外延薄膜却呈现出不同程度的滑移。接下来我们对生长温度、半化学量子井参数等生长条件进行了一定的优化。在选定的最优生长条件下,我们得
AlN外延薄膜的MOCVD生长和高阻GaN中的深能级研究的中期报告.docx
AlN外延薄膜的MOCVD生长和高阻GaN中的深能级研究的中期报告本次中期报告内容分为两部分:一是AlN外延薄膜的MOCVD生长,二是高阻GaN中的深能级研究。一、AlN外延薄膜的MOCVD生长通过本次实验,我们对AlN外延薄膜的生长进行了深入的研究。首先,我们对MOCVD方法的参数进行了优化,包括反应温度、反应气体的流量和反应时间等。通过调整这些参数,在晶体的生长过程中可以控制AlN薄膜的晶体结构和表面形貌。接着,我们对生长出的AlN薄膜进行了表征,包括X射线衍射、光学显微镜等。通过XRD,我们发现所生